[实用新型]一种适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置

说明书

一种适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置，包括固定平台、移动平台和位移测量传感器，所述固定平台和移动平台上分别安装位移测量传感器，所述装置还包括激光干涉系统，所述激光干涉系统包括激光准直光源、第一分光镜、直角全反射棱镜、第二分光镜、聚焦镜和相机，所述光准直光源、第一分光镜、第二分光镜、聚焦镜和相机位于固定平台上，所述直角全反射棱镜位于移动平台上，所述激光准直光源、第一分光镜、直角全反射棱镜、第二分光镜、聚焦镜和相机依次连接形成光路。本实用新型提供了一种有效提升测量精确度的适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置。

技术领域

本实用新型涉及一种角度对光装置。

背景技术

在用光学或其他类似的位移传感器测量大型圆形被测件的回转直径、回转误差时，可以采用两个反向放置的精密位移传感器，如图1所示。当被测圆形物绕其中心旋转时，两个位移传感器分别记录物体内径或外径(如图1所示)相对于传感器的轴向位移，两个传感器的位移量的和反映了被测圆形物偏离其理论值的大小。

在这样的装置中，如何保证两个反向放置的位移测量传感器的主轴完全重合，是实现精确测量的关键。现有技术中无法保证两个反向放置的位移测量传感器的主轴完全重合，测量精确度较低。

发明内容

为了克服已有测量大型圆形被测件的回转直径、回转误差时的测量精确度较低的不足，本实用新型提供了一种有效提升测量精确度的适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置，包括固定平台、移动平台和位移测量传感器，所述固定平台和移动平台上分别安装位移测量传感器，所述装置还包括激光干涉系统，所述激光干涉系统包括激光准直光源、第一分光镜、直角全反射棱镜、第二分光镜、聚焦镜和相机，所述光准直光源、第一分光镜、第二分光镜、聚焦镜和相机位于固定平台上，所述直角全反射棱镜位于移动平台上，所述激光准直光源、第一分光镜、直角全反射棱镜、第二分光镜、聚焦镜和相机依次连接形成光路。

进一步，所述激光准直光源的出射方向布置所述第一分光镜，所述第一分光镜的折射方向与所述直角全反射棱镜入射方向正对，所述直角全反射棱镜的出射方向与第二分光镜针对，第一分光镜的反射方向和第二分光镜的反射方向重叠且通过聚焦镜与相机光路相接。

所述相机与用于显示干涉条纹的显示屏连接。

本实用新型的有益效果主要表现在：有效提升测量精确度。

附图说明

图1是反向放置位移传感器测量回转直径和误差的示意图。

图2是共焦色散传感器器显示的波峰示意图。

图3是同光轴角度调整装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。

参照图3，一种适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置，包括固定平台10、移动平台11和位移测量传感器2、3，所述固定平台10和移动平台11上分别安装位移测量传感器2、3，所述装置还包括激光干涉系统，所述激光干涉系统包括激光准直光源4、第一分光镜5、直角全反射棱镜7、第二分光镜6、聚焦镜8和相机9，所述光准直光源4、第一分光镜5、第二分光镜6、聚焦镜8和相机9位于固定平台上10，所述直角全反射棱镜7位于移动平台11上，所述激光准直光源4、第一分光镜5、直角全反射棱镜7、第二分光镜6、聚焦镜8和相机9依次连接形成光路12。

进一步，所述激光准直光源4的出射方向布置所述第一分光镜5，所述第一分光镜5的折射方向与所述直角全反射棱镜7入射方向正对，所述直角全反射棱镜7的出射方向与第二分光镜6正对，第一分光镜5的反射方向和第二分光镜6的反射方向重叠且通过聚焦镜8与相机9光路相接。