[实用新型]一种加热器的喷砂和平整度检测用安装治具

说明书

本实用新型是一种加热器的喷砂和平整度检测用安装治具，包括底座和基座，其特征在于，基座同轴安装在底座的顶端，在基座上同轴固接有环形凸块，在环形凸块上同轴设有环形凹槽，在环形凹槽内放置有橡胶圈，在基座的中心同轴设有圆孔，圆孔的直径小于橡胶圈的直径，在基座的外端设有若干对两两对称的取放缺口，取放缺口位于橡胶圈的外侧。本实用新型在圆孔放入加热器的头部，通过设置安有橡胶圈的基座，防止了基座磕碰加热器，通过设置取放缺口，便于加热器的取放，避免了物理溅射用加热器在喷砂和清洗过程中产生污染以及发生变形的情况，进而满足了物理溅射用加热器的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及喷砂辅助治具技术领域，尤其涉及一种加热器的喷砂和平整度检测用安装治具。

背景技术

物理溅射机台是半导体设备中的一种，由于物理溅射机台中的备件加热器是用来承载和加热硅片的，所以对物理溅射用加热器的表面状态要求较高，需要物理溅射用加热器的粗糙度和平面度都要保持均匀。但是，现阶段物理溅射用加热器在喷砂和清洗过程中易产生污染以及发生变形的情况，无法满足物理溅射用加热器的使用需求。

发明内容

本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种加热器的喷砂和平整度检测用安装治具。

本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种加热器的喷砂和平整度检测用安装治具，包括底座和基座，其特征在于，基座同轴安装在底座的顶端，在基座上同轴固接有环形凸块，在环形凸块上同轴设有环形凹槽，在环形凹槽内放置有橡胶圈，在基座的中心同轴设有圆孔，圆孔的直径小于橡胶圈的直径，在基座的外端设有若干对两两对称的取放缺口，取放缺口位于橡胶圈的外侧。

所述底座包括上底座和下底座，上底座位于下底座的正上方，上底座和下底座之间圆周固接有若干支撑圆柱，在上底座上圆周分布有若干底座连接孔，在基座上设有与底座连接孔一一对应的基座连接孔，基座通过与基座连接孔同轴的螺栓与上底座上的底座连接孔连接。

所述支撑圆柱的个数为3。

所述底座连接孔的个数为6。

所述圆孔为通孔结构。

所述上底座和所述下底座均为环形座。

所述取放缺口为C形结构。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供一种加热器的喷砂和平整度检测用安装治具，在圆孔放入加热器的头部，通过设置安有橡胶圈的基座，防止了基座磕碰加热器，通过设置取放缺口，便于加热器的取放，避免了物理溅射用加热器在喷砂和清洗过程中产生污染以及发生变形的情况，进而满足了物理溅射用加热器的使用需求。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的爆炸图；

图3为本实用新型的主视图；

图4为本实用新型的俯视图；

图中：1-下底座；2-支撑圆柱；3-上底座；4-基座；5-取放缺口；6-圆孔；7-基座连接孔；8-橡胶圈；9-底座连接孔；

以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：

如图1-4所示，一种加热器的喷砂和平整度检测用安装治具，包括底座和基座4，其特征在于，基座4同轴安装在底座的顶端，在基座4上同轴固接有环形凸块，在环形凸块上同轴设有环形凹槽，在环形凹槽内放置有橡胶圈8，在基座4的中心同轴设有圆孔6，圆孔6的直径小于橡胶圈8的直径，在基座4的外端设有若干对两两对称的取放缺口5，取放缺口5位于橡胶圈8的外侧。