[实用新型]一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具

说明书

本实用新型是一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具，包括治具底座，其特征在于，在治具底座的上表面安有前后对应的弧形卡座二，前后弧形卡座二之间形成环形开孔二，在前后弧形卡座二的上表面均对应固接有弧形卡座一，前后弧形卡座一之间形成环形开孔一，弧形卡座一、弧形卡座二与治具底座之间依次呈阶梯状结构设置。本实用新型通过在治具底座上设置弧形卡座一，弧形卡座二，以及同轴的环形开孔一和环形开孔二，在不更换检测治具的情况下，实现了自由切换检测不同规格的喷淋板的孔径，通过设置与喷淋板的定位块相适配的定位槽一和定位槽二，配合弧形卡座一的固定孔，避免了喷淋板与检测治具发生相对移动，进而提高了检测的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及检测治具技术领域，尤其涉及一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具。

背景技术

在半导体气相沉积工艺腔体中，喷淋板是其中的核心备件。喷淋板上分布有均匀的小孔，以便于工艺气体均匀的通过。喷淋板使用一段时间后，孔内会产生气体反应的产物，这些产物会堵塞小孔，所以喷淋板需要定期进行清洗。清洗的过程中，要保证孔内不会堵塞，孔径不可以变大，所以每次清洗喷淋板后，都需要进行孔径的检测。

然而，当前使用的检测治具规格单一，在检测不同规格的喷淋板的孔径时，需要更换不同的检测治具，更换操作繁琐，延长了检测时间，而且喷淋板与检测治具会发生相对移动，无法保证每次检测的孔都是相同的，进而降低了检测的工作效率。

发明内容

本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具。

本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具，包括治具底座，其特征在于，治具底座的中心设有通孔，在治具底座的上表面安有前后对应的弧形卡座二，前后弧形卡座二之间形成环形开孔二，环形开孔二与通孔同轴设置，环形开孔二的直径大于通孔的直径，前后弧形卡座二之间设有与环形开孔二连通的间隙，在前后弧形卡座二的上表面均对应固接有弧形卡座一，前后弧形卡座一之间形成环形开孔一，环形开孔一与通孔同轴设置，环形开孔一的直径大于环形开孔二的直径，弧形卡座一、弧形卡座二与治具底座之间依次呈阶梯状结构设置，前后弧形卡座二上设有对应的若干定位槽二，前后弧形卡座一上设有对应的若干定位槽一，在前后弧形卡座一上沿通孔的轴线圆周设有若干固定孔。

所述治具底座的截面为正方形。

所述通孔为圆形孔。

所述弧形卡座一和所述弧形卡座二为一体结构设置。

所述固定孔为螺纹孔。

所述定位槽一和所述定位槽二同轴对应设置。

所述定位槽一与所述定位槽二均为盲孔结构。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计合理，通过在治具底座上设置弧形卡座一，弧形卡座二，以及同轴的环形开孔一和环形开孔二，在不更换检测治具的情况下，实现了自由切换检测不同规格的喷淋板的孔径，缩短了检测时间，通过设置与喷淋板的定位块相适配的定位槽一和定位槽二，配合弧形卡座一的固定孔，避免了喷淋板与检测治具发生相对移动，进而提高了检测的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的主视剖视图；

图2为图1的俯视图；

图中：1-治具底座；2-环形开孔一；3-弧形卡座二；4-通孔；5-弧形卡座一；6-环形开孔二；7-定位槽一；8-定位槽二；9-间隙；10-固定孔；

以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：