[实用新型]一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头

权利要求书

1.一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头，其特征在于，包括顶针（1）、壳体（2）及压缩弹簧（3），所述壳体底部设有螺孔（4），壳体内放置有导向滑块（5），所述导向滑块内设有导向孔（6），所述顶针下端位于导向孔内与导向孔滑配，顶针上端向上穿出壳体并与壳体滑配，所述压缩弹簧位于壳体内并套设于顶针外，位于壳体内的顶针上设有限位块（7），压缩弹簧的上下两端分别与限位块、导向滑块弹性抵接。

2.根据权利要求1所述的一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头，其特征在于，所述壳体为两端闭口的中空圆柱体结构。

3.根据权利要求1或2所述的一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头，其特征在于，所述导向滑块为圆柱体结构。

4.根据权利要求1所述的一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头，其特征在于，所述顶针的上端固定有接触帽头（8），所述接触帽头的边缘沿周向间隔设有接触齿（9）。

5.根据权利要求1所述的一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头，其特征在于，所述限位块与壳体之间滑配。

6.根据权利要求1所述的一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头，其特征在于，所述顶针为圆柱体结构。