[实用新型]一种LED生产用光刻装置有效

专利信息
申请号: 202020985133.X 申请日: 2020-06-02
公开(公告)号: CN212256007U 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 潘仲中 申请(专利权)人: 潘仲中
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 362000 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 led 生产 用光 装置
【说明书】:

实用新型涉及LED生产技术领域,且公开了一种LED生产用光刻装置,包括底座,所述底座的底部活动连接有万向轮,所述底座的顶部活动连接有气压缸,所述气压缸的输出端活动连接有气压杆,所述气压杆的一端固定连接有支撑座,所述支撑座的一侧开设有凹槽,所述凹槽的内壁开设有滑槽,所述滑槽的内壁活动连接有滑块。该LED生产用光刻装置,达到了散热效果较好的目的,解决了一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差的问题,便于将装置内部使用时产生的热量快速散出,降低对装置的损耗,利于延长装置的使用寿命,且结构灵活便于调节装置的使用高度,提高了装置的灵活性,便于使用者根据实际使用需求进行调节和移动,满足了使用者的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及LED生产技术领域,具体为一种LED生产用光刻装置。

背景技术

光刻技术是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂将掩膜版上的图形转移到基片上的技术,其主要过程为:首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面,引起曝光区域的光刻胶发生化学反应;再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶,使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上;最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。

现有的一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差,装置在使用时产生的热量无法及时散出,容易加速对装置的损耗,不利于延长装置的使用寿命,并且不便于调节使用,不方便对装置的高度进行调节且不便于移动,降低了装置的灵活性,不便于使用者进行使用,需要对现有的装置进行改进。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种LED生产用光刻装置,具备散热效果较好等优点,解决了一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差的问题。

(二)技术方案

为实现上述该LED生产用光刻装置散热效果较好的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种LED生产用光刻装置,包括底座,所述底座的底部活动连接有万向轮,所述底座的顶部活动连接有气压缸,所述气压缸的输出端活动连接有气压杆,所述气压杆的一端固定连接有支撑座,所述支撑座的一侧开设有凹槽,所述凹槽的内壁开设有滑槽,所述滑槽的内壁活动连接有滑块,所述滑块的外壁固定连接有盒体,所述盒体的内壁活动连接有电机,所述电机的输出轴通过联轴器活动连接有风扇,所述支撑座的顶部开设有卡槽。

所述卡槽的内壁活动连接有卡块,所述卡块的外壁固定连接有盖体,所述支撑座的顶部活动连接有光刻装置本体,所述盖体的一侧开设有活动槽,所述活动槽的内壁固定连接有固定块,所述固定块的外壁活动连接有弹簧,所述弹簧的一端活动连接有固定柱,所述固定柱的一端固定连接有支撑环,所述支撑环的内壁活动连接有支撑杆,所述支撑杆的一端活动连接有活动块,所述支撑杆的外壁活动连接有活动环,所述活动环的外壁活动连接有防护帘,所述防护帘的一侧活动连接有避光层,所述防护帘的另一侧活动连接有固定珠。

优选的,所述支撑座为凹形支撑座,且支撑座通过卡槽和卡块与盖体活动连接,且卡槽的形状大小与卡块的形状大小均相互匹配。

优选的,所述凹槽的内壁活动连接有隔网,且隔网的宽度与盒体的宽度相等,且隔网的垂直中线与盒体的垂直中线处于同一位置。

优选的,所述风扇的数量为两个至四个,且每一个至两个风扇为一组,且两组风扇以盒体的垂直中线为对称轴对称设置,所述盒体通过滑块和滑槽与凹槽活动连接。

优选的,所述固定柱为凹形固定柱,且固定柱通过弹簧与固定块活动连接,且固定柱的形状大小与弹簧和固定块组合的形状大小均相互匹配,且固定块为凸形固定块。

优选的,所述支撑杆的一端分别贯穿支撑环的内壁和活动环的内壁并延伸至活动块的内壁,且支撑杆的两端均设置有螺纹。

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