[实用新型]一种MEMS电容式开关

权利要求书

1.一种MEMS电容式开关，包括衬底以及设置于所述衬底上方的开关梁和有效电极，其特征在于，所述开关梁包括与所述衬底平行设置的横梁部和与所述横梁部垂直的延伸部，所述有效电极设置于所述横梁部和所述衬底之间，至少在所述MEMS电容式开关处于关态时，所述有效电极的顶壁与所述开关梁的横梁部相对，所述有效电极的侧壁与所述开关梁的延伸部相对，以形成电容器。

2.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于，所述有效电极的数量为N个，且沿平行于所述衬底的方向间隔设置，所述延伸部的数量为N-1个，每相邻的两个所述有效电极之间设有一个所述延伸部。

3.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于，所述有效电极的顶壁和所述有效电极的侧壁中至少一者的表面设有第一介质层。

4.根据权利要求3所述的MEMS电容式开关，其特征在于，所述MEMS电容式开关还包括设置于所述有效电极周侧的开关驱动电极以及支撑固定所述开关梁的锚点。

5.根据权利要求4所述的MEMS电容式开关，其特征在于，所述衬底朝向所述开关梁的一侧设有第二介质层，所述有效电极、所述开关驱动电极位于所述第二介质层上。

6.根据权利要求5所述的MEMS电容式开关，其特征在于，所述开关驱动电极顶面设有第三介质层。

7.根据权利要求6所述的MEMS电容式开关，其特征在于，所述第一介质层、第二介质层、第三介质层为氧化硅或氮化硅材质。