[实用新型]一种自带过滤装置的电弧靶有效
| 申请号： | 202020989988.X | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN212316231U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 周焱文 | 申请（专利权）人： | 武汉普迪真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;B01D29/58 |
| 代理公司： | 湖北天领艾匹律师事务所 42252 | 代理人： | 胡振宇 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 过滤 装置 电弧 | ||
1.一种自带过滤装置的电弧靶，包括预设外壳体(1)、预设罩体(6)和预留电弧靶(7)，其特征在于：所述预设外壳体(1)的底端固定连接有预留电弧靶(7)，所述预设外壳体(1)的内部中间位置处固定连接有预留蓄水箱(5)，且预留蓄水箱(5)的一侧固定连接有循环水泵(3)，所述预留蓄水箱(5)的内部中间位置处设置有过滤结构(4)。
2.根据权利要求1所述的一种自带过滤装置的电弧靶，其特征在于：所述预留蓄水箱(5)的顶端设置有预留水冷管(2)，且预留水冷管(2)呈“蛇形”分布的结构。
3.根据权利要求1所述的一种自带过滤装置的电弧靶，其特征在于：所述过滤结构(4)的内部依次设置有固定卡槽(401)、固定卡块(402)、第一过滤孔(403)、第一过滤板(404)、第二过滤孔(405)和第二过滤板(406)，所述固定卡槽(401)与预留蓄水箱(5)之间固定连接，所述固定卡槽(401)的底端设置有固定卡块(402)，且固定卡块(402)和固定卡槽(401)之间构成卡合关系。
4.根据权利要求3所述的一种自带过滤装置的电弧靶，其特征在于：所述固定卡槽(401)和固定卡块(402)设置有两组，所述固定卡块(402)一侧的底端固定连接有第二过滤板(406)，所述固定卡块(402)另一侧的底端固定连接有第一过滤板(404)，所述固定卡块(402)关于第二过滤板(406)的中轴线对称分布。
5.根据权利要求4所述的一种自带过滤装置的电弧靶，其特征在于：所述第二过滤板(406)的两侧镶嵌有第二过滤孔(405)，且第二过滤孔(405)呈等间距分布结构，所述第一过滤板(404)的两侧镶嵌有第一过滤孔(403)，且第一过滤孔(403)呈等间距分布结构。
6.根据权利要求1所述的一种自带过滤装置的电弧靶，其特征在于：所述预留电弧靶(7)的内部中间位置处固定连接有预设罩体(6)，且预设罩体(6)呈“十字”型分布。
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