[实用新型]旋转镀膜机构及其应用的连续式镀膜生产线

权利要求书

1.旋转镀膜机构，包括可装夹基板工件的基片架(a)，其特征在于：所述基片架(a)上设置有滚筒组件(1)、以及带动所述滚筒组件(1)转动的传动机构(2)，所述滚筒组件(1)包括转动本体(11)，所述转动本体(11)上设有用于支撑圆筒形工件(b)的支撑部(3)，圆筒形工件(b)支撑于该支撑部(3)上且可随所述转动本体(11)相对所述基片架(a)转动以实现真空镀膜。

2.根据权利要求1所述的旋转镀膜机构，其特征在于：所述转动本体(11)的外周侧壁均布设有多个可用于悬挂放置平板工件(c)的悬挂部(4)。

3.根据权利要求2所述的旋转镀膜机构，其特征在于：所述悬挂部(4)的端部设有向上弯折的弯折段(41)。

4.根据权利要求1所述的旋转镀膜机构，其特征在于：所述支撑部(3)包括多个设于所述转动本体(11)外周且位于同一水平面上均布的支撑柱(31)。

5.根据权利要求4所述的旋转镀膜机构，其特征在于：所述支撑柱(31)上设有与圆筒形工件(b)的底部边缘配合卡接的限位槽(311)。

6.根据权利要求1所述的旋转镀膜机构，其特征在于：所述滚筒组件(1)还包括与所述转动本体(11)相连的转轴(12)，所述转轴(12)的上端和下端分别设有上支撑轴承座(51)和下支撑轴承座(52)且上支撑轴承座(51)可拆卸连接于基片架(a)上。

7.根据权利要求6所述的旋转镀膜机构，其特征在于：所述转轴(12)的下端设有与所述转轴(12)相连带动转轴(12)转动的第一传动齿轮(13)，所述传动机构(2)包括与所述第一传动齿轮(13)配合啮合的第二传动齿轮(21)。

8.根据权利要求7所述的旋转镀膜机构，其特征在于：所述传动机构(2)还包括与所述第二传动齿轮(21)相连的磁流体密封装置(22)以及由电机带动转动的同步轮(23)，所述同步轮(23)连接在所述磁流体密封装置(22)上。

9.连续式镀膜生产线，其特征在于：包括如权利要求1-8任一项所述的旋转镀膜机构。