[实用新型]一种镀银抗菌织物的制备装置

权利要求书

1.一种镀银抗菌织物的制备装置，其特征在于，包括反应腔体(1)、等离子体电源(2)和真空抽吸泵(3)，真空抽吸泵与反应腔体内部连通，反应腔体内部两侧分别安装与等离子体电源两极连接的正电极(11)和负电极(12)，反应腔体内底部安装的靶材台(13)，反应腔体中部活动安装屏蔽罩(14)，靶材台与屏蔽罩之间的反应腔体侧壁开设溅射气体入口(15)，反应腔体顶部安装基材台(16)，反应腔体顶部与溅射气体入口相对的另一侧壁开设改性气体入口(17)。

2.根据权利要求1所述的镀银抗菌织物的制备装置，其特征在于，织物基材固定在基材台上，靶材放置在靶材台上，靶材台与基材台的距离为50-400mm。

3.根据权利要求1所述的镀银抗菌织物的制备装置，其特征在于，靶材台与基材台之间安装竖向调节机构，靶材台与基材台通过竖向调节机构调节距离。

4.根据权利要求1所述的镀银抗菌织物的制备装置，其特征在于，等离子体电源功率为6000-24000W。