[实用新型]一种气液通道分离的超薄均热板

权利要求书

1.一种气液通道分离的超薄均热板，包括盖板（1）和底板（2），其特征在于，所述盖板（1）和底板（2）周边密封连接形成密封工质腔，密封工质腔处于真空状态，其内填充有液态工质，所述盖板（1）内表面为凹面，包括第一区域（10）和第二区域（11），其中第一区域（10）设置有规则排布的支撑柱（101），第二区域（11）不设置支撑柱（101），用来放置泡沫铜吸液芯（3），所述泡沫铜吸液芯（3）的上表面与盖板（1）的下表面紧密贴合，泡沫铜吸液芯（3）的下表面与底板（2）的上表面紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的气液通道分离的超薄均热板，其特征在于，所述盖板（1）的壁厚为0.13-0.20mm，壁面材料采用不锈钢或钛制作而成，内壁镀铜。

3.根据权利要求1所述的气液通道分离的超薄均热板，其特征在于，所述底板（2）的壁厚为0.07-0.12mm，壁面材料采用不锈钢或钛制作而成，内壁镀铜，并对底板（2）的内表面进行粗化处理。

4.根据权利要求1所述的气液通道分离的超薄均热板，其特征在于，所述盖板（1）内表面的凹面和支撑柱（101）是利用化学腐蚀的方式形成的，支撑柱（101）包括小圆柱（1011）与长条柱（1012）。

5.根据权利要求1所述的气液通道分离的超薄均热板，其特征在于，所述泡沫铜吸液芯（3）的厚度为0.07-0.15mm，泡沫铜吸液芯（3）的形状与第二区域（11）的形状相匹配，在保证热源处有足够吸液芯的前提下，泡沫铜吸液芯（3）贯穿于均热板平面。

6.根据权利要求1所述的气液通道分离的超薄均热板，其特征在于，采用磁控溅射镀二氧化钛、热氧化法或等离子清洗的方法对所述泡沫铜吸液芯（3）进行亲水性处理。

7.根据权利要求3所述的气液通道分离的超薄均热板，其特征在于，底板（2）的内表面进行粗化处理时采用物理方法在底板（2）的内表面形成具有茸毛形貌的连续毛细结构。

8.根据权利要求3所述的气液通道分离的超薄均热板，其特征在于，底板（2）的内表面进行粗化处理时采用化学或电化学方法在底板（2）的内表面形成亲水性多孔结构。

9.根据权利要求1所述的气液通道分离的超薄均热板，其特征在于，所述盖板（1）和底板（2）采用钎焊的方式实现周边密封连接，底板（2）内表面为中央高、四周低的结构。

10.根据权利要求1所述的气液通道分离的超薄均热板，其特征在于，所述盖板（1）和底板（2）采用扩散焊的方式实现周边密封连接，底板（2）内表面设置有微通道（20），底板（2）内侧面与支撑柱（101）通过扩散焊的方式结合为一体。