[实用新型]一种半导体器件加工用旋转定位装置有效

专利信息
申请号: 202021006669.9 申请日: 2020-06-04
公开(公告)号: CN212542394U 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 韩波 申请(专利权)人: 汉斯自动化科技(江苏)有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/68
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 王勇
地址: 221600 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体器件 工用 旋转 定位 装置
【说明书】:

本实用新型公开了一种半导体器件加工用旋转定位装置,包括工作台,工作台顶部固定安装有支撑平台,支撑平台顶部镶嵌安装有轴承,轴承内环镶嵌安装有转轴,转轴底部可拆卸安装有从动齿轮,工作台底部开设有凹槽,凹槽底部可拆卸安装有盖板。本实用新型通过伺服电机电机轴的转动带动旋转平台的转动,计算好主动齿轮和从动齿轮的齿数比,可精准控制旋转平台每次转动的角度,通过设置挡片,旋转平台每次精准转动90°时,挡片挡住信号接收板,一旦旋转平台转动失去精准度,信号发生器发生的信号会被信号接收板接受,信号接收板接收伺服电机停止的信号传递给伺服电机,这样的结构可实时监测旋转平台的转动精度。

技术领域

本实用新型涉及旋转定位技术领域,具体为一种半导体器件加工用旋转定位装置。

背景技术

目前半导体器件是由不同的半导体材料制成的电子器件,大部分应用于发光二极管的制作,主要产品为晶体二极管、双极型晶体管和场效应晶体管,半导体器件在加工过程中需要使用到旋转平台,旋转平台的转动精度是靠伺服电机的本身转动精准度控制,一旦伺服电机使用过久会发生精准度缺失的问题,发生定位精准度降低,加工时会发生偏差,所以我们提出一种半导体器件加工用旋转定位装置。

在实现本发明过程中,发明人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决;旋转平台的转动精度是靠伺服电机的本身转动精准度控制,一旦伺服电机使用过久会发生精准度缺失的问题,发生定位精准度降低,加工时会发生偏差。本申请通过伺服电机电机轴的转动带动旋转平台的转动,计算好主动齿轮和从动齿轮的齿数比,可精准控制旋转平台每次转动的角度,通过设置挡片,旋转平台每次精准转动90°时,挡片挡住信号接收板,一旦旋转平台转动失去精准度,信号发生器发生的信号会被信号接收板接受,信号接收板接收伺服电机停止的信号传递给伺服电机,这样的结构可实时监测旋转平台的转动精度,解决了上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体器件加工用旋转定位装置,解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体器件加工用旋转定位装置,包括工作台,工作台顶部固定安装有支撑平台,支撑平台顶部镶嵌安装有轴承,轴承内环镶嵌安装有转轴,转轴底部可拆卸安装有从动齿轮,工作台底部开设有凹槽,凹槽底部可拆卸安装有盖板,盖板底部右侧可拆卸安装有伺服电机,伺服电机的电机轴可拆卸安装有主动齿轮,主动齿轮与从动齿轮啮合,转轴顶部可拆卸安装有旋转平台,旋转平台外侧环形固定安装有四组同尺寸的挡片,工作台右侧顶部固定安装有安装架,安装架底部可拆卸安装有信号接收板,安装架顶部可拆卸安装有信号发生器。

作为本实用新型的一种优选实施方式,转轴与工作台和支撑平台贯穿安装。

作为本实用新型的一种优选实施方式,从动齿轮的底部平面比盖板的顶部平面高出2cm。

作为本实用新型的一种优选实施方式,信号接收板的安装位置位于信号发生器安装位置的正下方。

作为本实用新型的一种优选实施方式,挡片的面积大于信号接收板的面积。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

1.本实用新型通过伺服电机电机轴的转动带动旋转平台的转动,计算好主动齿轮和从动齿轮的齿数比,可精准控制旋转平台每次转动的角度,通过设置挡片,旋转平台每次精准转动90°时,挡片挡住信号接收板,一旦旋转平台转动失去精准度,信号发生器发生的信号会被信号接收板接受,信号接收板接收伺服电机停止的信号传递给伺服电机,这样的结构可实时监测旋转平台的转动精度。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型一种半导体器件加工用旋转定位装置的主视图;

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