[实用新型]带数据显示功能的一体化微机电系统热处理氢探头

说明书

本实用新型涉及带数据显示功能的一体化微机电系统热处理氢探头，结构为：保护盒体安装在耐高温测量气室的检测口位置；MEMS氢传感器安装于保护盒体内部，检测端与耐高温检测气室的检测口连接；保护盒盖板盖在保护盒体上，高亮红色LED数据显示屏安装在电路板上，电路板安装于保护盒体内壁，高亮红色LED数据显示屏、MEMS氢传感器、电路板连接成回路；高亮红色LED数据显示屏通过保护盒体上的开孔露出，各部件装配完成后成为一体。本实用新型热处理氢探头采用小型的MEMS氢传感器，安装在热处理氮化炉上时，有害气体不会进入MEMS氢传感器内部，不会腐蚀和堵塞传感器，MEMS氢传感器测量的数据直接转化成氮势数据通过高亮红色LED数据显示屏显示出来，方便操作人员观察。

技术领域

本实用新型属于热处理氢探头的技术领域，涉及带数据显示功能的一体化微机电系统热处理氢探头。

背景技术

热处理渗氮工艺是机械行业中金属零件表面改性热处理工艺的一种。将氨气通入装有金属零件的高温渗氮炉内，氨气高温分解后产生氮气和氢气，氮气中活性氮原子渗入到金属表面，会改变金属表面硬度，耐腐蚀等物理和化学性能，氮原子的多少会影响零件的最终性能，通常用氮势这单位来衡量，因为氮原子来自于氨气裂解，同时也会产生氢原子，因此通过测量氢原子的含量就可以间接的测量出氮原子的多少，即氮势。这是热处理氢探头的基本用途。

现在技术采用的热处理氢探头，采用的是模拟电阻电桥热导技术，低温气池管路取气，结构复杂，低温下气池和周边管路会因为氨气低温结晶堵塞气路、污染气池，成本高，易损坏。氢探头只能检测出氢的含量，需要专门的仪表才能显示并转换成工艺需要的氮势参数，现场使用操作繁琐，成本高。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术存在的上述不足和缺陷，提供一种带数据显示功能的一体化微机电系统热处理氢探头，用于机械行业中金属零件表面热处理渗氮工艺中，解决目前最常用的氢探头结构复杂，低温下气池和周边管路会因为氨气低温结晶堵塞气路、污染气池，导致无法工作和易损坏，并且现有的氢探头只能检测出氢的含量，还需要专门的仪表才能显示并转换成工艺需要的氮势参数，现场使用操作繁琐，成本高。

本实用新型所采用的技术方案是：

带数据显示功能的一体化微机电系统热处理氢探头，包含保护盒盖板、保护盒体、MEMS(Microelectro Mechanical Systems)氢传感器、显示屏、电路板、耐高温测量气室；其特征在于：保护盒体安装在耐高温测量气室的检测口位置；MEMS氢传感器安装于保护盒体内部，检测端与耐高温检测气室的检测口连接；保护盒盖板盖在保护盒体上，高亮红色LED数据显示屏安装在电路板上，电路板安装于保护盒体内壁，高亮红色LED数据显示屏、MEMS氢传感器、电路板连接成回路；高亮红色LED数据显示屏通过保护盒体上的开孔露出，各部件装配完成后成为一体。

所述的显示屏为LED数据显示屏。

所述的LED数据显示屏为高亮LED数据显示屏。

所述的高亮LED数据显示屏为高亮红色LED数据显示屏。

本实用新型热处理氢探头采用了小型的MEMS氢传感器，安装在热处理氮化炉上时，有害气体不会进入MEMS氢传感器内部，不会腐蚀和堵塞传感器，氢探头安装在现场检测时，MEMS氢传感器测量的数据直接转化成氮势数据通过高亮红色LED数据显示屏显示出来，方便操作人员观察。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

解决了现有技术的不足，本实用新型提供的氢探头，用于金属热处理渗氮的氮势测量，解决了目前最常用的氢探头结构复杂，低温下气池和周边管路会因为氨气低温结晶堵塞气路、污染气池，导致无法工作，易损坏。而且只能检测出氢的含量，需要专门的仪表才能显示并转换成工艺需要的氮势参数，现场使用操作繁琐，成本高。

附图说明