[实用新型]一种蓝宝石复合衬底有效
| 申请号： | 202021009022.1 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212161848U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 余金隆;庄家铭 | 申请（专利权）人： | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/44 | 分类号： | H01L33/44;H01L33/46;H01L33/64;H01L33/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 胡枫;李素兰 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 复合 衬底 | ||
1.一种蓝宝石复合衬底，其特征在于，包括减薄蓝宝石衬底、设于减薄蓝宝石衬底正面的缺陷阻挡层、防止减薄蓝宝石衬底弯曲的增厚层、以及将增厚层粘接在减薄蓝宝石衬底背面的粘接层；
所述缺陷阻挡层设有若干个开孔，所述开孔从缺陷阻挡层的表面刻蚀至减薄蓝宝石衬底的正面，所述缺陷阻挡层由透明不导电材料制成，所述透明不导电材料的晶格与外延层的晶格相配；
所述增厚层由导热材料制成，所述导热材料的热膨胀系数小于减薄蓝宝石衬底的热膨胀系数。
2.如权利要求1所述的蓝宝石复合衬底，其特征在于，所述缺陷阻挡层与减薄蓝宝石衬底之间设有附着层，所述缺陷阻挡层的材料为SiO2或Si2N4，所述附着层的材料为Al2O3。
3.如权利要求2所述的蓝宝石复合衬底，其特征在于，多层附着层和缺陷阻挡层交替堆叠形成反射镜结构。
4.如权利要求2所述的蓝宝石复合衬底，其特征在于，所述缺陷阻挡层的厚度为1000～1500nm，其中，所述附着层的厚度为10～100nm。
5.如权利要求1所述的蓝宝石复合衬底，其特征在于，所述开孔的宽度为2～5μm，所述开孔之间的间隔为2～5μm。
6.如权利要求1所述的蓝宝石复合衬底，其特征在于，所述增厚层为AlN基板或SiC基板，所述粘接层的材料为Al。
7.如权利要求6所述的蓝宝石复合衬底，其特征在于，所述增厚层的厚度为300～500μm，所述粘接层的厚度为300～1000nm。
8.如权利要求1所述的蓝宝石复合衬底，其特征在于，所述减薄蓝宝石衬底的厚度为90～200μm。
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