[实用新型]一种多导轮线切割机砂浆帘装置

说明书

本实用新型公开了一种多导轮线切割机砂浆帘装置，包括储液盒和导向斜面，所述储液盒的第一侧面的高度低于其他侧面的高度，所述导向斜面与所述第一侧面相接，所述导向斜面向所述储液盒外侧下方倾斜，所述导向斜面两侧设置有向上翻折的限位边。本实用新型通过储液盒和导向斜面的配合，使得砂浆液能够沿储液盒长度方向均匀溢出，并流至切割线上，几乎不会对切割线施加额外的扰动冲击，并且能够保证切割线受到的冲击均匀一致，提高切割质量。

技术领域

本实用新型涉及多线切割技术领域，具体涉及一种多导轮线切割机砂浆帘装置。

背景技术

多线切割是通过金属丝的高速往复运动，把磨料(砂浆液)带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。多线切割的原理是融合在切割液中的碳化硅在高速运行的钢线带动下完成切割的作用。

在切割过程中，需要加入切削液(一般为药剂或者砂浆)来增加切削力并冷却切割线。而切削液的供液方式主要采用从切削液喷管中喷到切割线上的方式，有的采用从上向下喷淋，有的采用从下向上喷淋，但仅仅是喷淋方式不同。切割时，需要保证切削液充分并且不间断的喷在切割线上，一是附在切割线上增加切割线的切削力，达到快速切割的目的，另一个目的是对磨削导致的切割线、被切割材料升温进行冷却。

该种切削液的供液方式，由于切削液喷淋到切割线表面时，受喷淋方向、力度及切削液自身重力影响，会对切割线施加额外的扰动冲击，并且无法保证所有切割线受到的扰动冲击均匀一致，因此，各个切割线的变形及相邻两个切割线之间的间距位置都会出现各不相同的现象。继而实际切割材料时，无法按照转子上转子槽的间距稳定的切割，导致切割出的产品不同片之间薄厚不均，同一片上不同位置厚度也会有偏差，平整度差。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种多导轮线切割机砂浆帘装置，以克服砂浆液对切割线施加额外的扰动冲击，使各切割线的受力不均匀的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种多导轮线切割机砂浆帘装置，包括储液盒和导向斜面，所述储液盒的第一侧面的高度低于其他侧面的高度，所述导向斜面与所述第一侧面相接，所述导向斜面向所述储液盒外侧下方倾斜，所述导向斜面两侧设置有向上翻折的限位边。

进一步的，所述储液盒内设置有挡液板，所述挡液板靠近所述第一侧面设置，所述第一侧面顶部高度低于所述挡液板上部且高于所述挡液板下部。

进一步的，所述挡液板的截面形状与所述第一侧面的形状相匹配。

进一步的，所述第一侧面顶部向外延伸形成连接平台，所述导向斜面与所述连接平台相接。

进一步的，所述导向斜面连接于所述连接平台下表面。

进一步的，所述导向斜面与所述连接平台铆接。

进一步的，所述导向斜面的下端弯折有缓冲平面。

进一步的，所述导向斜面与竖直方向之间的夹角为45°～75°。

进一步的，所述储液盒两端安装有连接耳。

进一步的，所述储液盒内沿其长度方向设置有进液管，所述进液管侧面上方设置有进液口，所述进液管两端为出液口。

本实用新型的一种多导轮线切割机砂浆帘装置与现有技术相比的有益效果是，通过储液盒和导向斜面的配合，使得砂浆液能够沿储液盒长度方向均匀溢出，并流至切割线上，几乎不会对切割线施加额外的扰动冲击，并且能够保证切割线受到的冲击均匀一致，提高切割质量。

附图说明

图1是本实用新型的实施例一整体结构示意图；

图2是本实用新型的实施例二整体结构示意图；

图3是本实用新型的实施例二侧面剖视图；