[实用新型]一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构

说明书

本实用新型属于电子束蒸发台技术领域，尤其是一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构，现提出如下方案，其包括电子束蒸发台，所述电子束蒸发台上设置有用于连接外部动力结构的驱动轴，所述电子束蒸发台的一侧孤固定安装有防护座，且防护座上开设有防护腔，所述驱动轴的一端延伸至防护腔内并固定套设有驱动齿轮；本实用新型的电子束蒸发台的传动结构设计简单巧妙，通过启动旋转电机，可以实现了对第一调速齿轮和第二调速齿轮进行纵向移动，而当第一调速齿轮或者第二调速齿轮和驱动齿轮相啮合的不同传动部件，可以达到带动驱动齿轮转动的速度也不相同，进而可以实现了电子束蒸发台根据使用需求进行调速的目的。

技术领域

本实用新型涉及电子束蒸发台技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构。

背景技术

电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中，被加热的物质放置于水冷的坩埚中，可避免蒸发材料与坩埚壁发生反应影响薄膜的质量，因此，电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的增竭以获得所要达到的蒸发率。

目前的电子束蒸发台机在驱动的过程中，需要使用外部的动力机械对其进行驱动，且此动力机械的输出动力转速无法进行调节，进而直接的导致了在机械动力输出的过程中，造成部分动力过剩的问题，所以我们提出了一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构，用以解决上述所提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构，包括电子束蒸发台，所述电子束蒸发台上设置有用于连接外部动力结构的驱动轴，所述电子束蒸发台的一侧孤固定安装有防护座，且防护座上开设有防护腔，所述驱动轴的一端延伸至防护腔内并固定套设有驱动齿轮，所述防护腔的一侧内壁上纵向滑动连接有调节板，所述调节板的顶部和底部分别固定安装有第一L形板和第二L形板，所述第二L形板的一侧转动连接有第一调速齿轮，所述第一L形板的一侧转动连接有第二调速齿轮，所述调节板的一侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上固定安装有主动轮，所述第一调速齿轮的一侧圆心位置上和第二调速齿轮的一侧圆心位置上均固定安装有从动轮，所述主动轮的外侧和从动轮的外侧套设有同一个同步带，所述调节板的一侧固定安装有连接板，所述连接板的一侧固定安装有对称设置的两个固定板，所述固定板上固定嵌装有螺母，所述防护腔的底部内壁上固定安装有旋转电机，所述旋转电机的输出轴上固定安装有螺杆，且螺杆的顶部贯穿两个螺母的内圈并和螺母的内圈固定连接。

优选的，所述防护腔的一侧开设有维修孔，且维修孔内嵌装有防护板，所述防护板的顶部和底部均固定安装有固定块，所述固定块上螺纹连接有对称设置的两个固定螺栓，且固定螺栓的一端延伸至电子束蒸发台内并和电子束蒸发台螺纹连接，通过设置防护板便于打开防护腔，从而当防护腔内的机械构件出现问题时，可以打开防护腔对内部的机械部件进行维修。

优选的，所述防护腔的一侧内壁上固定安装有对称设置的两个限位块，且两个限位块分别位于连接板的上方和下方，进而利用两个限位块可以为连接板的上下纵向移动的距离进行限位。

优选的，所述第一L形板和第二L形板的一侧均固定安装有滑块，所述防护腔的一侧内壁固定安装有滑轨，且两个滑块均和滑轨滑动连接，利用滑块和滑轨可以使得第一L形板和第二L形板纵向移动保持稳固，且不会发生偏移。

优选的，所述防护腔的一侧内壁上固定有轴承，所述驱动轴贯穿轴承的内圈并和轴承的内圈固定连接，利用轴承可以为驱动轴提供转动支撑。