[实用新型]一种电子束蒸发台加热器装置有效
申请号: | 202021011687.6 | 申请日: | 2020-06-04 |
公开(公告)号: | CN212388103U | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 马溢华 | 申请(专利权)人: | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 韩璐 |
地址: | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子束 蒸发 加热器 装置 | ||
1.一种电子束蒸发台加热器装置,包括电子束蒸发台(1),其特征在于,所述电子束蒸发台(1)的一侧开设有安装槽(2),且安装槽(2)内卡装有安装板(3),所述安装板(3)的两侧均固定安装有固定板(4),所述固定板(4)上开设有对称设置的两个固定槽(5),所述电子束蒸发台(1)的一侧固定安装有两个对称设置的固定座(9),所述固定板(4)的一侧贴合有对称设置的两个转动块(6),且转动块(6)和相对应的固定槽(5)相适配,所述转动块(6)的两侧均固定安装有条形板(7),且条形板(7)的一侧和固定板(4)的一侧相贴合,所述转动块(6)的一侧固定安装有螺杆(8),所述转动块(6)的一侧开设有螺纹槽(10),所述螺杆(8)的一端贯穿固定槽(5)并延伸至相对应的螺纹槽(10)内且和螺纹槽(10)螺纹连接,所述固定座(9)的一侧固定安装有弹性组件,所述螺杆(8)贯穿弹性组件,所述弹性组件的一侧和固定板(4)的一侧相贴合。
2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台加热器装置,其特征在于,所述安装板(3)的外侧套设有密封垫。
3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台加热器装置,其特征在于,所述弹性组件包括固定安装在固定座(9)一侧的复位弹簧(11),所述复位弹簧(11)的一端固定安装有承压板(12),所述承压板(12)的中心位置上开设有通孔(14),所述螺杆(8)的一端贯穿通孔(14)和复位弹簧(11),所述承压板(12)的一侧和固定板(4)的一侧相贴合,所述承压板(12)上固定安装有限位组件(13),所述限位组件(13)的一侧和电子束蒸发台(1)的一侧固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台加热器装置,其特征在于,所述转动块(6)的一侧固定安装有旋钮块,且旋钮块的外侧套设有螺纹橡胶套。
5.根据权利要求3所述的一种电子束蒸发台加热器装置,其特征在于,所述限位组件包括固定安装在承压板(12)一侧的两个限位套筒(1302),所述限位套筒(1302)内滑动连接有滑动板(1303),所述滑动板(1303)的一端固定安装有限位杆(1301),所述限位杆(1301)的一端延伸至限位套筒(1302)的一侧并和电子束蒸发台(1)的一侧固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种电子束蒸发台加热器装置,其特征在于,所述限位套筒(1302)的内部侧壁上均固定嵌装有对称设置的两个滑轨,所述滑动板(1303)的两侧均固定安装有滑块,且两个滑块分别和两个滑轨滑动连接。
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