[实用新型]一种用于光刻机的光子数量控制器有效
| 申请号： | 202021012157.3 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN212460307U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 张玥 | 申请（专利权）人： | 张玥 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 21101 | 代理人： | 胡野 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 光子 数量 控制器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光刻机的光子数量控制器，其特征在于：包括由耐高温的非波导材料制成的基板，在基板上设置一孔径极小的通光孔，在通光孔的一侧设置有光致发光体，通光孔内设置有由多根纳米管构成的纳米管束。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的光子数量控制器，其特征在于：所述通光孔孔径为10-50微米。
3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的光子数量控制器，其特征在于：所述基板材料为铜或铝合金或钢材。
4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的光子数量控制器，其特征在于：所述光致发光体为液态金属锡。
5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的光子数量控制器，其特征在于：所述光致发光体通过在液态下向基板中滴入并凝固封装而成。
6.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的光子数量控制器，其特征在于：所述纳米管束通过化学键的方式连接而成。
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