[实用新型]一种旋转圆盘共焦显微成像装置

权利要求书

1.一种旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，包括沿光路依次设置的激光器(1)、准直扩束系统(2)、像差校正装置(3)、微透镜阵列(4)、分光镜(5)、针孔阵列(6)、物镜(7)、成像透镜(9)和面阵探测器(10)，被测物(8)适于放置在所述物镜(7)远离于所述针孔阵列(6)的一侧；

所述像差校正装置(3)用于对来自所述准直扩束系统(2)的光束进行波前调制。

2.根据权利要求1所述的旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，所述准直扩束系统(2)位于所述激光器(1)和所述像差校正装置(3)之间，所述准直扩束系统(2)用于接收所述激光器(1)产生的光束，并对所述光束扩束准直。

3.根据权利要求1所述的旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，所述像差校正装置(3)包括偏振分束器(31)和空间光调制器(32)，所述偏振分束器(31)位于所述准直扩束系统(2)和所述空间光调制器(32)之间，所述偏振分束器(31)用于对来自所述准直扩束系统(2)的光束进行偏振分光，所述空间光调制器(32)用于对来自所述偏振分束器(31)的光束进行像差校正。

4.根据权利要求1所述的旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，所述像差校正装置(3)包括可变形反射镜，所述可变形反射镜用于接收经所述准直扩束系统(2)扩束准直的光束，并对所述光束进行波前调制。

5.根据权利要求1所述的旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，所述微透镜阵列(4)位于所述像差校正装置(3)和所述分光镜(5)之间，所述微透镜阵列(4)与所述针孔阵列(6)平行设置。

6.根据权利要求1所述的旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，所述分光镜(5)位于所述微透镜阵列(4)和所述针孔阵列(6)之间，所述分光镜(5)用于将所述被测物(8)发出的光反射至所述成像透镜(9)。

7.根据权利要求1所述的旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，所述针孔阵列(6)位于所述分光镜(5)和所述物镜(7)之间，所述微透镜阵列(4)和所述针孔阵列(6)的阵列呈阿基米德旋线分布。

8.根据权利要求1所述的旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，所述物镜(7)位于针孔阵列(6)和所述被测物(8)之间，所述物镜(7)用于接收经所述针孔阵列(6)聚焦的光束，并将所述光束聚焦到所述被测物(8)，所述物镜(7)还用于接收所述被测物(8)发出的光束，并将所述被测物(8)发出的光束照射至所述分光镜(5)。

9.根据权利要求1所述的旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，所述成像透镜(9)位于所述分光镜(5)和所述面阵探测器(10)之间，所述成像透镜(9)用于接收所述分光镜(5)反射的光束，并将所述光束聚焦到所述面阵探测器(10)。

10.根据权利要求1所述的旋转圆盘共焦显微成像装置，其特征在于，所述面阵探测器(10)位于经所述成像透镜(9)聚焦的光束的照射方向，所述面阵探测器(10)用于接收所述成像透镜(9)聚焦的光束。