[实用新型]HES系列高效硅烷防堵净化塔

说明书

本实用新型公开了一种HES系列高效硅烷防堵净化塔，涉及工业环保技术领域，包括塔体、进风口及出风口，所述塔体上部设有喷淋装置，所述喷淋装置、塔体以及水箱形成水循环回路，所述塔体包括塔顶和塔身，所述塔身为锥形，所述进风口开设在塔身上部且与塔身侧壁相切，所述塔身底部设置有斜板，所述出风口开设在塔顶且与风机连接，本实用新型提供的HES系列高效硅烷防堵净化塔内部不设填料，不会存在粉尘堵塞的问题，降低设备阻力，提高处理效果，减少运营维护投入。

技术领域

本实用新型涉及工业环保技术领域，具体涉及一种HES系列高效硅烷防堵净化塔。

背景技术

多数太阳能电池生产企业采用PECVD(即等离子增强型化学气相沉积)设备制备减反射膜，将硅片放置在PECVD设备内，通入的SiH4和NH3经高频光放电反应生成Si₃N₄，并沉积在硅片表面形成固态薄膜，即氮化硅薄膜。该环节产生的废气主要为SiH₄和NH₃废气，先将SiH₄送至不锈钢燃烧筒内燃烧，燃烧后会产生SiO₂粉末，大部分SiO₂粉末在重力作用下沉降到燃烧筒底部聚集，剩余部分SiO₂粉末在风机牵引作用下进入到下一级的净化装置。

目前采用的SiO₂粉末净化装置为填料型喷淋塔，可以去除废气中的一部分SiO₂粉末，但SiO₂粉末也容易堵塞填料，造成设备阻力变大，处理效果下降，且需要经常进行填料的更换和维护，运营成本较大。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种HES系列高效硅烷防堵净化塔，解决SiO₂粉末堵塞净化塔的问题，降低设备阻力，提高处理效果，减少运营维护投入。

一种HES系列高效硅烷防堵净化塔，包括塔体、进风口及出风口，所述塔体上部设有喷淋装置，所述喷淋装置、塔体以及水箱形成水循环回路，所述塔体包括塔顶和塔身，所述塔身为锥形，所述进风口开设在塔身上部且与塔身侧壁相切，所述塔身底部设置有斜板，所述出风口开设在塔顶且与风机连接。

优选地，所述水循环回路中，塔体下方与水箱通过溢流管连通，所述水箱与水泵连接，所述水泵与喷淋装置通过管道连接。

优选地，所述喷淋装置包括喷淋管道和多个喷嘴，所述喷嘴均匀设置在喷淋管道上并与其连通，所述喷淋管道与水泵输出端通过管道连接。

优选地，所述溢流管的高度为600mm。

优选地，所述溢流管的口径为100mm。

优选地，所述塔身底部设置有斜板。

优选地，所述斜板的倾斜角度为5°-10°。

优选地，所述塔身底部对应斜板低点位置设置排污口一。

优选地，所述水箱底部设置排污口二。

优选地，所述塔体上部设有视窗一，下部设有视窗二。

本实用新型的有益效果体现在：

(1)本实用新型提供的HES系列高效硅烷防堵净化塔内部不设填料，不会存在粉尘堵塞的问题，降低设备阻力，提高处理效果，减少运营维护投入；

(2)本实用新型提供的HES系列高效硅烷防堵净化塔的进风口与塔体内壁相切，塔身为锥形设计，使得废气进入塔体后能够通过惯性和离心力的作用去除粉尘；

(3)本实用新型提供的HES系列高效硅烷防堵净化塔通过设置水循环回路提高了喷淋水的利用率，可有效降低粉尘进入水箱的可能性，减少水泵和喷嘴堵塞情况的发生率；气液两相可接触进一步提高粉尘去除效率；