[实用新型]一种基于折射窗扫描仪的显微成像装置

权利要求书

1.一种基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，包括沿光路依次设置的激光器(1)、扩束透镜组、第一反射镜(5)、二向色镜(6)、第一微透镜阵列(7)、中继透镜组、折射窗扫描仪组、管镜(12)、第二反射镜(13)、成像物镜(14)、第二微透镜阵列(17)、聚焦透镜(18)和探测器(19)，被测物(15)适于放置在所述成像物镜(14)远离所述第二反射镜(13)的一侧；

所述折射窗扫描仪组用于形成可移动的二维焦点阵列以实现对所述被测物(15)的扫描。

2.根据权利要求1所述的基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，所述扩束透镜组包括平行设置的第一扩束透镜(2)和第二扩束透镜(4)，所述第一扩束透镜(2)与所述激光器(1)相邻设置，所述第二扩束透镜(4)与所述第一反射镜(5)相邻设置，所述第一扩束透镜(2)的直径小于所述第二扩束透镜(4)的直径，所述扩束透镜组用于对来自所述激光器(1)的光束扩束以使所述光束覆盖所述第一微透镜阵列(7)。

3.根据权利要求2所述的基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，还包括空间频率滤波器(3)，所述空间频率滤波器(3)设置在所述第一扩束透镜(2)和所述第二扩束透镜(4)之间，所述空间频率滤波器(3)用于滤除来自所述第一扩束透镜(2)光束中的杂散光。

4.根据权利要求1所述的基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，所述第一微透镜阵列(7)与所述第二微透镜阵列(17)的大小形状相同，所述第一微透镜阵列(7)与所述第二微透镜阵列(17)用于分割光束以形成子光束阵列。

5.根据权利要求4所述的基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，所述第一微透镜阵列(7)的微透镜与所述第二微透镜阵列(17)的微透镜均呈阵列点间距在7λ以上的n×n方形阵列，其中，λ为所述激光器(1)发出光束的波长。

6.根据权利要求1所述的基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，所述中继透镜组包括第一中继透镜(8)和第二中继透镜(9)，所述第一中继透镜(8)与所述第二中继透镜(9)大小相同且平行设置，所述中继透镜组用于将来自所述第一微透镜阵列(7)的光束转变为平行光束。

7.根据权利要求1所述的基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，所述折射窗扫描仪组包括第一折射窗扫描仪(10)和第二折射窗扫描仪(11)，所述第一折射窗扫描仪(10)的旋转轴线与所述第二折射窗扫描仪(11)的旋转轴线垂直。

8.根据权利要求1所述的基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，还包括滤光片(16)，所述滤光片(16)位于所述二向色镜(6)和所述第二微透镜阵列(17)之间，所述滤光片(16)用于滤除来自所述二向色镜(6)光束中的杂散光。

9.根据权利要求1所述的基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，所述探测器(19)包括密集型探测器。

10.根据权利要求1所述的基于折射窗扫描仪的显微成像装置，其特征在于，所述激光器(1)的波长范围为400nm至700nm。