[实用新型]一种OLED蒸镀设备有效
| 申请号： | 202021017858.6 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN212713726U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 王仕伟;赵铮涛;曹绪文;祖伟;任清江;宋盖文;朱平;季韬 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 方文倩 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 oled 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种OLED蒸镀设备，其特征在于：包括蒸镀室，基板布置在所述蒸镀室上方中心位置，所述蒸镀室内设有间隔布置的多个坩埚，所述坩埚可沿边缘向中心基板方向移动。
2.按照权利要求1所述的OLED蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀室底板上设有支撑座，所述坩埚沿所述支撑座边沿均匀间隔布置。
3.按照权利要求2所述的OLED蒸镀设备，其特征在于：所述支撑座上设有分别与每个所述坩埚对应的导槽，所述导槽由所述支撑座的边沿向所述支撑座中部延伸。
4.按照权利要求3所述的OLED蒸镀设备，其特征在于：所述坩埚由驱动缸连接驱动其沿所述导槽移动。
5.按照权利要求4所述的OLED蒸镀设备，其特征在于：所述驱动缸布置在所述支撑座下方靠近中部位置，每个所述坩埚对应一个所述驱动缸。
6.按照权利要求5所述的OLED蒸镀设备，其特征在于：所述坩埚包括坩埚本体，所述坩埚本体下方设有对应插接在所述导槽内且可沿所述导槽移动的导销。
7.按照权利要求6所述的OLED蒸镀设备，其特征在于：所述导销下方设有推块，所述驱动缸的伸缩杆端连接在所述推块上。
8.按照权利要求1至7任一项所述的OLED蒸镀设备，其特征在于：所述基板通过电机及旋转轴可转动的连接在所述蒸镀室上方顶板上。
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