[实用新型]用于感测系统的窗口

权利要求书

1.一种用于感测系统的窗口，包括：

玻璃基板，具有预定厚度和对于波长为905nm的电磁辐射的折射率；

分层膜，设置在所述基板上，所述分层膜包括高折射率材料和低折射率材料的交替层，所述高折射率材料具有比所述低折射率材料高的折射率，其中，所述分层膜的所述交替层中的每一层具有厚度，并且所述交替层的厚度被配置为使得所述窗口对于波长在850nm至950nm范围内的电磁辐射具有至少80％的透射率；及

在所述分层膜处至少10GPa的硬度，这是通过Berkovich压头硬度测试所测量的。

2.根据权利要求1所述的窗口，其中，所述玻璃基板是碱金属铝硅酸盐或碱金属铝硼硅酸盐玻璃，具有表面和与该表面邻接的处于压缩应力下的区域。

3.根据权利要求1所述的窗口，其中，所述基板的厚度在1mm至5mm之间。

4.根据权利要求2所述的窗口，其中，所述玻璃基板的厚度为1mm，压缩应力的最大绝对值至少为600MPa，所述处于压缩应力下的区域的压缩深度至少为20μm。

5.根据权利要求1所述的窗口，其中，所述基板包括丙烯酸酯片，所述丙烯酸酯片对于可见光谱内的波长范围具有小于1％的透射率，并且在905nm的波长处具有大于85％的透射率。

6.根据前述权利要求中任一项所述的窗口，其中：所述基板的折射率为1.45至1.55；

所述高折射率材料的折射率为1.7至3.0；及

所述低折射率材料的折射率为1.3至1.6。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的窗口，其中，所述分层膜包括一定数量的层，并且其中，层的数量以及所述交替层的厚度被配置为使得所述窗口对于波长在850nm至950nm范围内的电磁辐射具有至少95％的透射率。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的窗口，其中，所述低折射率材料为含氧低折射率材料，及所述高折射率材料为含氮高折射率材料，用于所述高折射率材料的SiO_xN_y、AlO_xN_y中的氧含量低于用于所述低折射率材料的SiO_xN_y、AlO_xN_y中的氧含量，及用于所述高折射率材料的SiO_xN_y、AlO_xN_y中的氮含量高于用于所述低折射率材料的SiO_xN_y、AlO_xN_y中的氮含量。

9.根据权利要求1-5中任一项所述的窗口，其中：

所述基板是玻璃基板；

所述低折射率材料是SiO₂；及

所述高折射率材料是Si₃N₄。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的窗口，其中：

所述分层膜的离所述玻璃基板最近的层是所述低折射率材料，及

所述分层膜的离所述玻璃基板最远的层是所述低折射率材料。

11.根据权利要求1-5中任一项所述的窗口，其中，所述分层膜具有厚度，并且其中，所述分层膜包括厚度为所述分层膜的厚度的50％或更多的高折射率材料层。

12.根据权利要求11所述的窗口，其中，厚度为所述分层膜的厚度的50％或更多的所述高折射率材料层的厚度在500nm至10,000nm之间。