[实用新型]一种喷嘴安装辅助装置

说明书

本实用新型属于半导体领域，尤其涉及一种喷嘴安装辅助装置。包括：一主杆；一高度调节装置，设置于所述主杆上；一方向调节装置，连接于所述高度调节装置上；一夹持装置，所述夹持装置上设置多个用于夹持喷嘴的夹具；一可调角底座，设置于所述主杆的末端上；其中，所述夹持装置连接于所述方向调节装置上。上述技术方案的有益效果是：提供一种喷嘴安装辅助装置，能够在夹持/松开喷嘴的同时，带动喷嘴进行高度和方向上的调节，从而使炉管喷嘴更换更便捷，可减少设备因更换喷嘴而停机的时间，降低喷嘴在更换过程中损坏的可能性。

技术领域

本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种炉管喷嘴的安装辅助装置。

背景技术

现今半导体12寸工艺逐渐普及，工艺尺寸的增长会导致制石英件的尺寸增长，例如，炉管制成中用到的石英喷嘴，为了满足制成需求，喷嘴尺寸和重量都有增加。

而目前常见对这种喷嘴的安装更换方式仍是操作人员佩戴防护具，在没有额外的辅助装置，独自进行安装和更换。

由于现今的喷嘴较之以前在尺寸和重量均具有增加，若继续采用上述方式进行安装，则具有以下缺点：

(1)制成的需求管内只能降温至300℃，使得人工安装更换难度加大；

(2)由于更换时操作人员必须佩带防高温手套，使得安装更换的操作空间变小；

(3)由于环境因素的影响，会导致操作人员因无法准确掌握角度而导致喷嘴断裂，不仅造成石英损耗，还需要对断裂材料进行清理，费时费力。

由此可见，喷嘴的尺寸、重量增加时，安装更换喷嘴的难度也随之加大。而现今技术中仍未出现能够帮助操作人员对喷嘴进行快速便捷更换的辅助装置。

实用新型内容

为解决上述的现有问题，现提供一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，包括：

一主杆；

一高度调节装置，设置于所述主杆上；

一方向调节装置，连接于所述高度调节装置上；

一夹持装置，所述夹持装置上设置多个用于夹持喷嘴的夹具；

一可调角底座，设置于所述主杆的末端上；

其中，所述夹持装置连接于所述方向调节装置上。

优选的，所述夹持装置包括：

一竖直部，多个所述夹具设置于所述竖直部上；

一水平部，所述水平部的一端连接所述竖直部的底端，另一端连接所述方向调节装置。

优选的，所述夹具中包括：

一弹簧夹，包括一弹性元件，一固定臂和一操作臂，所述固定臂固定在所述竖直部上；

固定件，包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件固定于所述竖直部并靠近所述固定臂，所述第二固定件固定于所述主杆上；

一套管，所述套管设置在所述第一固定件和所述第二固定件之间，且两端分别被所述第一固定件及第二固定件固定；

一钢丝，所述钢丝的一端依次穿过所述第二固定件、套管、第一固定件并连接至所述操作臂；

所述主杆上还包括：

一操作部，设置在所述主杆上并与所述钢丝的另一端连接。

优选的，所述高度调节装置包括：

多个多边形通孔，所述多边形通孔纵向设置在所述主杆上，所述方向调节装置连接所述高度调节装置的区段的横截面形状与所述多边形通孔的形状相匹配，所述方向调节装置通过连接不同的所述多边形通孔进行高度调节。