[实用新型]用于传感系统的视窗和LIDAR系统

权利要求书

1.一种用于传感系统的视窗，其特征在于，包括：

玻璃基板，包括折射率、第一表面、和第二表面，所述第一表面和所述第二表面是所述玻璃基板的主表面；

分层膜，设置在所述玻璃基板的所述第一表面上，所述分层膜包括一种或多种更高折射率的材料和一种或多种更低折射率的材料的交替层，所述一种或多种更高折射率的材料和所述一种或多种更低折射率的材料中的每一者具有折射率，且所述一种或多种更高折射率的材料的折射率大于所述一种或多种更低折射率的材料的折射率；和

在所述分层膜处并由Berkovich压头硬度测试测量的至少8GPa的最大硬度，

其中所述分层膜的所述交替层的数量、厚度、和材料以如下方式进行配置使得：

所述视窗对于波长为1550nm的电磁辐射在正常入射或者接近正常入射时的平均百分比透射率大于75％；且

所述视窗对于波长为1550nm的电磁辐射在0°至8°的范围内的任一入射角时的平均百分比反射率小于10％。

2.如权利要求1所述的视窗，其中所述玻璃基板具有与所述第一表面毗邻且处于压缩应力下的区域，且所述压缩应力的最大绝对值是至少600MPa。

3.如权利要求1所述的视窗，其中所述玻璃基板具有在100μm和5mm之间的厚度。

4.如权利要求1所述的视窗，其中所述玻璃基板对于波长为1550nm的电磁辐射的折射率是从1.45至1.55。

5.如权利要求1至4中任一项所述的视窗，其中所述一种或多种更高折射率的材料的折射率是从1.7至4.0，并且其中所述一种或多种更低折射率的材料的折射率是从1.3至1.6。

6.如权利要求1至4中任一项所述的视窗，其中所述一种或多种更高折射率的材料中的任一者与所述一种或多种更低折射率的材料中的任一者之间的折射率的差是0.5或更大。

7.如权利要求1至4中任一项所述的视窗，其中所述一种或多种更低折射率的材料包括SiO₂，并且其中所述一种或多种更高折射率的材料包括Si₃N₄。

8.如权利要求1至4中任一项所述的视窗，其中所述分层膜中的离所述玻璃基板最远的层形成所述视窗的端面材料，所述视窗的所述端面材料包括所述更低折射率的材料，并且其中所述一种或多种更低折射率的材料的层直接设置在所述玻璃基板的所述第一表面上。

9.如权利要求1至4中任一项所述的视窗，其中在所述分层膜处并由Berkovich压头硬度测试测量的所述最大硬度是至少12GPa。

10.如权利要求1至4中任一项所述的视窗，其中所述一种或多种更高折射率的材料的层中的一者具有500nm和10,000mm之间的厚度。

11.如权利要求1至4中任一项所述的视窗，其中所述一种或多种更高折射率的材料的至少一层是所述分层膜的厚度的65％或更大。

12.如权利要求1至4中任一项所述的视窗，其中所述分层膜中的离所述玻璃基板最远的层形成所述视窗的端面材料，所述视窗的所述端面材料包括所述更低折射率的材料，并且其中所述端面材料具有150nm和310nm之间的厚度。

13.如权利要求1至4中任一项所述的视窗，其中所述分层膜的所述交替层的数量、厚度、和材料以如下方式进行配置，使得：

所述视窗对于波长为1500nm至1600nm的范围内的任一波长的电磁辐射在正常入射或者接近正常入射时的平均百分比透射率大于75％；且

所述视窗对于波长为1500nm至1600nm的范围内的任一波长的电磁辐射在0°至8°的范围内的任一入射角时的平均百分比反射率小于10％。