[实用新型]一种用于晶圆加工设备的升降机及晶圆加工设备

说明书

本实用新型公开了提供一种用于晶圆加工设备的升降机，包含：载物台；滑杆，载物台设置于滑杆的顶部；丝杆，丝杆设置有外螺纹并与滑杆平行；驱动马达，驱动马达设置于丝杆顶部并驱动丝杆沿轴线旋转；连接块，连接块的第一部分固定连接至滑杆的底部，连接块的第二部分包含内螺纹，并与丝杆的外螺纹构成螺纹副；制动系统，制动系统设置于丝杆的底部并响应于驱动马达失效的信号而锁定丝杆。该升降机能够有效降低破片率、成本低廉并且安全性高。本实用新型同时提供一种包含上述升降机的晶圆加工设备。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种用于晶圆加工设备的升降机及包含该升降机的晶圆加工设备。

背景技术

现有E500型晶圆加工设备的升降机包含平行布置的滑杆和丝杆，设置于丝杆顶部的驱动马达驱动丝杆沿其轴线旋转以带动丝杆上升。然而。该晶圆加工设备并未针对升降机设置制动功能，当升降机驱动马达因失电等原因失效时，晶圆盒内的晶圆会随载物台的下降而急速下降，若操作者此时正在执行取片等动作，则会与晶圆发生碰撞，导致破片和/或人员受伤。新式晶圆加工设备在丝杆顶部设置有制动装置，可响应于驱动马达异常失电而停止升降机的升降动作。一方面，机台整体换新成本较高；另一方面，现有E500型晶圆加工设备受内部结构及空间的限制不允许在丝杆顶部加装制动装置。

因此，如何对现有E500型晶圆加工设备进行改造，以低成本使升降机具有制动功能成为晶圆加工领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为了解决现有的技术问题，本实用新型提出了一种能够有效降低破片率、安全性高并且成本低廉的升降机。本实用新型同时提供一种包含该升降机的晶圆加工设备。

根据本实用新型，提供一种用于晶圆加工设备的升降机，包含：

载物台；

滑杆，载物台设置于滑杆的顶部；

丝杆，丝杆设置有外螺纹并与滑杆平行；

驱动马达，驱动马达设置于丝杆顶部并驱动丝杆沿轴线旋转；

连接块，连接块的第一部分固定连接至滑杆的底部，连接块的第二部分包含内螺纹，并与丝杆的外螺纹构成螺纹副；

制动系统，制动系统设置于丝杆的底部并响应于驱动马达失效的信号而锁定丝杆。

根据本实用新型的一个实施例，制动系统包含：

电源模块；

信号接收模块，信号接收模块与电源模块电连接；

信号运算模块，信号运算模块与电源模块电连接，并与信号接收模块通信连接；

制动驱动模块，制动驱动模块与电源模块电连接并与信号运算模块通信连接；以及

抱刹装置，抱刹装置与制动驱动模块连接；

其中，

信号接收模块接收与驱动马达相关的信号，信号运算模块对驱动马达相关的信号进行判断并发送驱动马达失效的信号，制动驱动模块在接收到驱动马达失效的信号后驱动抱刹装置锁定丝杆。

根据本实用新型的一个实施例，信号接收模块与升降机的电源通信连接，与驱动马达相关的信号包含来自电源的电压信号。

根据本实用新型的一个实施例，信号接收模块与升降机的控制电路通信连接，与驱动马达相关的信号包含来自控制电路的光纤信号。

根据本实用新型的一个实施例，信号接收模块与驱动马达通信连接，与驱动马达相关的信号包含来自驱动马达的马达信号。

根据本实用新型的一个实施例，抱刹装置包含电磁线圈和闸片，其中，

当电磁线圈通电时，闸片彼此分离以允许丝杆旋转；