[实用新型]一种用于单晶硅片生产的烤箱

说明书

本实用新型公开了一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体，所述箱体内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆，所述固定杆顶端之间活动设置有移动板，所述移动板顶端固定设置有放置板，所述放置板顶端两侧均固定设置有若干放置架，所述箱体外部右侧中部固定设置有加热机构，所述加热机构在远离箱体的一侧上端固定设置有连接管。本实用新型在对硅片进行加热烧烤时依次把硅片放置到安装在放置板顶端两侧的放置架之间，再同时启动加热机构和风机把加热机构内部的热量输送进箱体内部进行加热，且再通过滤框、管体把箱体内部的气流输送进风机内部，再通过风机把连接管、加热机构回流到箱体内部即可，这样便于减小箱体内部的热量流失从而减小加热成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片技术领域，具体为一种用于单晶硅片生产的烤箱。

背景技术

单晶硅片，硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成；

传统的一种用于单晶硅片生产的烤箱存在以下不足；

目前，在对单晶硅片进行生产的过程中需要使用到烤箱，而现有的烤箱在使用时容易出现热量的流逝，容易增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅片生产的烤箱，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体，所述箱体内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆，所述固定杆顶端之间活动设置有移动板，所述移动板顶端固定设置有放置板，所述放置板顶端两侧均固定设置有若干放置架，所述箱体外部右侧中部固定设置有加热机构，所述加热机构在远离箱体的一侧上端固定设置有连接管，所述连接管顶端固定设置有风机，所述箱体顶端固定设置有滤框，所述滤框顶端与风机之间固定设置有管体，所述风机和加热机构均配设有开关。

优选的，所述固定杆顶端均固定设置有滑条，所述移动板底端前侧、后侧均开设有滑槽且滑条均与滑槽内部滑动连接。

优选的，所述箱体外部左侧开设有通槽且通槽内部固定设置有挡板。

优选的，所述箱体底端固定设置有排污头，所述风机左侧与箱体之间固定设置有固定架。

优选的，所述移动板顶端中部转槽，所述转槽内部固定设置有转块且转块顶端与放置板底端固定连接。

优选的，所述滤框内部顶端与底端均固定设置有滤板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在对硅片进行加热烧烤时依次把硅片放置到安装在放置板顶端两侧的放置架之间，再同时启动加热机构和风机把加热机构内部的热量输送进箱体内部进行加热，且再通过滤框、管体把箱体内部的气流输送进风机内部，再通过风机把连接管、加热机构回流到箱体内部即可，这样便于减小箱体内部的热量流失从而减小加热成本；

2、本实用新型同时通过上层与下层的滤板使箱体内部的热空气输送进管体内部前进行过滤，防止箱体内部热空气内部的杂质输送进管体内部，且在放置板顶端两侧的硅片进行换边加热时，且通过转槽和转块带动放置板进行转动调节从而把放置板进行换边加热从而防止加热均匀的情况出现。

附图说明

图1为本实用新型一种用于单晶硅片生产的烤箱整体结构示意图；

图2为本实用新型一种用于单晶硅片生产的烤箱中的图1中A处放大的结构图；

图3为本实用新型一种用于单晶硅片生产的烤箱中的图1中B处放大的结构图。