[实用新型]一种电气机械加载的平面研磨装置

权利要求书

1.一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于，包括机座、主轴系统、修面装置和压力加载装置，主轴系统设于机座内，主轴系统的顶部设有研磨盘，主轴系统带动研磨盘转动，修面装置设于研磨盘一侧，用于修整研磨盘，压力加载装置设于研磨盘上方，研磨盘表面设有工件，压力加载装置将压力施加于工件；压力加载装置包括第一电机、第一驱动杆、压力传感器和压力加载盘，压力传感器安装于压力加载盘顶部，第一电机带动第一驱动杆下压所述压力加载盘，施加指定压力于工件上。

2.根据权利要求1所述的一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于，压力加载装置安装于固定在机座上的支撑架上，所述第一驱动杆包括第一滚珠丝杆、滑动活塞和第一滑杆，第一电机通过联轴器与第一滚珠丝杆连接，滑动活塞两端分别与第一滑杆和第一滚珠丝杆上设有的第一传动螺母固连；

第一滑杆与压力传感器之间设有缓冲组件，缓冲组件包括弹簧导向柱、运动板和安装板，弹簧导向柱将运动板与安装板连接在一起，运动板与第一滑杆固连，压力传感器一端与安装板固连，压力传感器另一端与压力加载盘之间通过浮动接头连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于压力加载装置上设置有光栅尺。

4.根据权利要求3所述的一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于，压力传感器与变送器联接，变送器与数据采集卡联接，数据采集卡与计算机联接。

5.根据权利要求1所述的一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于，主轴系统包括第二电机、第一带传动机构、主轴和研磨盘托座，第二电机安装在固定于机座内的电机座上，第二电机通过第一带传动机构带动主轴转动，研磨盘托座固定安装于主轴顶部。

6.根据权利要求1所述的一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于，所述修面装置包括水平进给机构和竖直微调机构，水平进给机构包括第三电机、电机架、第二驱动杆，第三电机安装于电机架上，用于带动第二驱动杆进行水平移动，第二驱动杆一端设有刀架座，竖直微调机构安装于刀架座上，竖直微调机构通过螺旋进给的方式进行上下移动，且竖直微调机构底部设有车削刀。

7.根据权利要求6所述的一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于，第二驱动杆包括第二滚珠丝杆、第二滑杆，第二滑杆与第二滚珠丝杆上设有的第二传动螺母固连。

8.根据权利要求7所述的一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于，第三电机通过第二带传动机构与第二滚珠丝杆连接。

9.根据权利要求7所述的一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于，水平进给机构还包括包覆于第二滑杆之外的滑杆外壳，滑杆外壳与第二滑杆之间设有若干块滑块，滑杆外壳一端固定安装于电机架上，滑杆外壳另一端安装于固定在机座上的旋转座上，滑杆外壳能绕旋转座中的旋转轴转动。

10.根据权利要求8所述的一种电气机械加载的平面研磨装置，其特征在于，滑杆外壳上设有调节修面装置水平度的调节螺钉。