[实用新型]一种用于烘箱回流的支架

说明书

本实用新型公开了一种用于烘箱回流的支架，包括：工作台和若干个设置在工作台上的调平单元，调平单元之间形成放置硅片的容纳空腔；工作台上设置有腰型孔，调平单元设置在腰型孔内，调平单元与工作台滑动连接；调平单元包括支撑杆和若干个活动套设在支撑杆上的支撑座，支撑杆插设在工作台的腰形孔内，支撑座与支撑杆螺纹连接。通过上述方式，本实用新型能够支撑不同尺寸的硅片产品，并对每片硅片产品单独进行水平位置的调整，有效保证硅片产品在烘箱回流时处于水平放置，从而避免硅片产品上的光刻胶分布不均匀，减少对硅片产品后续加工的影响，提高硅片产品的品质。

技术领域

本实用新型涉及光学加工技术领域，特别是涉及一种用于烘箱回流的支架。

背景技术

目前，在光学行业中对硅片进行烘箱回流作业时，硅片均是直接放在烘箱中。由于烘箱内部的平板的很难做到水平结构，会导致放在烘箱内部的产品无法保证能水平放置。在烘箱回流高温过程中，硅片产品上的光刻胶处于熔融状态，由于重力作用，光刻胶会倾向水平低的方向，从而导致光刻胶的不均匀，严重影响后续加工，对硅片产品的品质有一定影响，且增加了生产制造成本。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种用于烘箱回流的支架，能够支撑不同尺寸的硅片产品，并对每片硅片产品单独进行水平位置的调整，有效保证硅片产品在烘箱回流时处于水平放置。

为达到上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于烘箱回流的支架，包括：工作台和若干个设置在所述工作台上的调平单元，所述调平单元之间形成放置硅片的容纳空腔；所述工作台上设置有腰型孔，所述调平单元设置在所述腰型孔内，所述调平单元与工作台滑动连接；所述调平单元包括支撑杆和若干个活动套设在所述支撑杆上的支撑座，所述支撑杆插设在所述工作台的腰形孔内，所述支撑座与支撑杆螺纹连接。

优选的，所述支撑座与硅片的接触面设置有保护层；所述保护层的材质为橡胶。

优选的，所述支撑座设置为台阶状，且所述支撑座面向硅片的面为平面。

优选的，所述支撑座包括支撑第一台阶、支撑第二台阶和支撑第三台阶，所述支撑第一台阶设置在所述支撑第三台阶的上方，所述支撑第一台阶与支撑第三台阶通过所述支撑第二台阶连接；所述支撑第一台阶、支撑第二台阶和支撑第三台阶的横截面依次增大。

优选的，所述支撑杆上设置有刻度线。

优选的，所述支撑杆的数量为至少三个。

优选的，同一支撑杆上的支撑座的数量为至少三个。

优选的，还包括固定单元，所述固定单元包括第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和第二固定块均套设在所述支撑杆上，所述第一固定块和第二固定块与所述支撑杆螺纹连接，所述第一固定块位于所述工作台的上方，所述第二固定块位于所述工作台的下方。

优选的，所述工作台上设置有定位销，所述定位销位于所述腰形孔的两侧，所述第一固定块上设置有与所述定位销相适配的定位孔。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列有益效果：

提供了一种用于烘箱回流的支架，可以支撑不同尺寸的硅片产品，并对每片硅片产品单独进行水平位置的调整，有效保证硅片产品在烘箱回流时处于水平放置，从而避免硅片产品上的光刻胶分布不均匀，减少对硅片产品后续加工的影响，提高硅片产品的品质。

附图说明

图1是本实用新型一种用于烘箱回流的支架的结构示意图。

图2是本实用新型一种用于烘箱回流的支架的爆炸图。

图3是本实用新型一种用于烘箱回流的支架中一种支撑座的结构示意图。