[实用新型]一种氦气回收提纯装置

权利要求书

1.一种氦气回收提纯装置，其特征在于，包括回收气罐(3)、回收压缩泵(4)、气体膜分离器(5)、气体提纯塔(9)和真空泵(8)；

所述回收压缩泵(4)的入口管路连接回收气罐(3)，回收气罐(3)上安装有压力变送器一(2)，回收气罐(3)的入口管路上安装有质量流量控制计一(1)，质量流量控制计一(1)的入口连接氦气回收场景；

所述回收压缩泵(4)的出口管路连接气体膜分离器(5)，气体膜分离器(5)的出口管路连接气体提纯塔(9)，所述气体提纯塔(9)不少于两组且各组相互并联，每组气体提纯塔(9)均通过控制阀门(7)控制气体流向，所述气体提纯塔(9)的入口管路上接有用于再生的真空泵(8)，出口管路上接有质量流量控制计二(11)。

2.根据权利要求1所述的一种氦气回收提纯装置，其特征在于，所述回收压缩泵(4)与回收气罐(3)间的管路上安装有气体单向阀。

3.根据权利要求1所述的一种氦气回收提纯装置，其特征在于，每组气体提纯塔(9)与质量流量控制计二(11)连接的管路上安装有压力变送器二(10)。

4.根据权利要求1所述的一种氦气回收提纯装置，其特征在于，所述回收压缩泵(4)采用无油或油润滑压缩机，回收压缩泵(4)的回收负压≥100mbar，出口压力≤8bar。

5.根据权利要求1所述的一种氦气回收提纯装置，其特征在于，所述回收气罐(3)上安装的压力变送器一(2)和入口管路上安装的质量流量控制计一(1)配合实现互锁功能，维持回收气罐(3)的负压环境。

6.根据权利要求1所述的一种氦气回收提纯装置，其特征在于，所述气体提纯塔(9)内部填充分子筛、活性炭或过滤机构中的任一种，每组气体提纯塔(9)内至少设置一组气体再分配装置。

7.根据权利要求1所述的一种氦气回收提纯装置，其特征在于，所述控制阀门(7)采用电磁阀、气动阀、电动阀中的任一种。

8.根据权利要求1所述的一种氦气回收提纯装置，其特征在于，所述气体膜分离器(5)的尾气出口处安装有背压阀(6)、节流阀或电控比例阀中的一种。