[实用新型]一种集成同轴视觉的激光切割光学系统

权利要求书

1.一种集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，包括激光器，所述激光器发射的激光束经由激光扩束系统、扫描振镜系统、长焦距场镜、反射镜传送至待加工幅面，所述反射镜反射的激光束的反向延长线上依次排列设置有双远心镜头和CCD相机，且所述反射镜、双远心镜头和CCD相机光学共轴。

2.根据权利要求1所述的集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，所述激光器为飞秒激光器，且采用355nm波长，脉冲频率范围覆盖100-1000kHz。

3.根据权利要求1所述的集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，所述激光扩束系统包括凹透镜和凸透镜，所述凹透镜和所述凸透镜依次排列设置在所述激光器的出光口。

4.根据权利要求1所述的集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，所述扫描振镜系统包括依次反射激光束的X轴扫描振镜反射镜和Y轴扫描振镜反射镜、以及用于驱动所述X轴扫描振镜反射镜以第一基准位置为基础旋转的第一驱动器和用于驱动所述Y轴扫描振镜反射镜以第二基准位置为基础旋转的第二驱动器。

5.根据权利要求4所述的集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，所述第一基准位置是所述X轴扫描振镜反射镜的反射面与激光束呈45°的位置，所述第二基准位置是所述Y轴扫描振镜反射镜的反射面与激光束呈45°的位置。

6.根据权利要求4所述的集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，所述X轴扫描振镜反射镜的一端安装在所述第一驱动器的旋转轴上，所述Y轴扫描振镜反射镜的一端安装在所述第二驱动器的旋转轴上，且所述第一驱动器的旋转轴与所述第二驱动器的旋转轴相互垂直。

7.根据权利要求4所述的集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，所述长焦距场镜用于接收所述Y轴扫描振镜反射镜反射的激光束，所述长焦距场镜与所述Y轴扫描振镜反射镜反射的激光束光学共轴。

8.根据权利要求7所述的集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，所述反射镜安装在所述长焦距场镜的背离所述Y轴扫描振镜反射镜的一侧，所述反射镜的反射面与所述长焦距场镜的光轴的夹角为45°。

9.根据权利要求4所述的集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，所述X轴扫描振镜反射镜和所述Y轴扫描振镜反射镜分别是仅对入射的激光束反射的扫描振镜反射镜。

10.根据权利要求1所述的集成同轴视觉的激光切割光学系统，其特征在于，所述长焦距场镜的镜片采用紫外熔融石英玻璃。