[实用新型]半导体封装测试业专用的快速合盘器有效
申请号: | 202021050163.8 | 申请日: | 2020-06-09 |
公开(公告)号: | CN212257368U | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 李恊松;张传益;刘松;柏永生;袁俊;郑朝生;卢旭坤;张亦锋;辜诗涛 | 申请(专利权)人: | 广东利扬芯片测试股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;莫建林 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 测试 专用 快速 合盘器 | ||
1.一种半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,包括吸附件和抽气管,所述吸附件内具有中空的吸附腔体,所述抽气管与所述吸附腔体连通,所述吸附件的左侧向下延伸形成左限位块,所述吸附件的右侧向下延伸形成右限位块,借由所述左限位块和所述右限位块使得所述吸附件可与料盘配合,所述吸附件向下延伸形成与所述吸附腔体连通的吸嘴,所述吸嘴位于所述左限位块与所述右限位块之间,所述吸附件上开设有与所述吸附腔体连通的泄压孔,借由封堵或打开所述泄压孔使得所述吸嘴可吸附或放置待吸附件。
2.如权利要求1所述的半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,还包括连接头,所述吸附件开设有与所述吸附腔体连通的连通孔,所述连接头安装于所述连通孔,所述抽气管通过所述连接头与所述吸附腔体连通。
3.如权利要求1所述的半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,所述泄压孔设于所述吸附件的前端面和后端面,位于前端面的所述泄压孔与位于后端面的所述泄压孔呈对称设置。
4.如权利要求1所述的半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,所述吸嘴为由所述吸附件向下延伸形成的凸块,所述凸块上开设有与所述吸附腔体连通的吸附孔。
5.如权利要求4所述的半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,所述凸块呈矩形状。
6.如权利要求1所述的半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,所述吸嘴设置有多个,所有所述吸嘴呈等间隔地排列。
7.如权利要求1所述的半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,所述吸附件呈龙门状结构。
8.如权利要求1所述的半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,所述吸附件向上延伸形成可用于握持的握持部,所述抽气管设于所述握持部。
9.如权利要求8所述的半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,所述握持部为呈矩形状的凸块结构。
10.如权利要求1所述的半导体封装测试业专用的快速合盘器,其特征在于,所述左限位块具有呈倾斜设置的导向斜面,所述右限位块具有呈倾斜设置的导向斜面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造