[实用新型]一种湿法分片装置

权利要求书

1.一种湿法分片装置，其特征在于：包括晶圆分片分离机构、取片机构和传送机构，其中，

所述晶圆分片分离机构用于对晶圆进行分片、分离；

所述晶圆分片分离机构与所述传送机构通过所述取片机构连通，将分离后的晶圆运输至所述传送机构处，并在所述传送机构的作用下运输至下一工序处。

2.根据权利要求1所述的湿法分片装置，其特征在于：所述晶圆分片分离机构包括分片结构和分离结构，所述分片结构设于所述分离结构的一侧，所述分片结构用于将叠放在一起的晶圆分开，所述分离机构用于将分开的晶圆分离，以便于所述取片机构进行取片。

3.根据权利要求2所述的湿法分片装置，其特征在于：所述分片结构包括第一分片装置、第二分片装置和支撑装置，其中，

所述第一分片装置与所述第二分片装置均设于所述支撑装置上，且所述第一分片装置和/或所述第二分片装置可相对于所述支撑装置移动，所述第一分片装置与所述第二分片装置设于所述分离结构的两侧，对叠放在一起的晶圆进行分片。

4.根据权利要求3所述的湿法分片装置，其特征在于：所述第一分片装置与所述第二分片装置均包括多个出水装置，多个所述出水装置沿着竖直方向依次设置，所述出水装置设有多个出水孔。

5.根据权利要求2-4任一项所述的湿法分片装置，其特征在于：所述分离结构包括第一分离装置和第二分离装置，所述第一分离装置与所述第二分离装置沿着晶圆传送方向依次设置，所述第一分离装置用于在水中对分片后的晶圆进行分离、传送，所述第二分离装置用于在空气中对分片后的晶圆进行传送。

6.根据权利要求5所述的湿法分片装置，其特征在于：所述第一分离装置包括第一传送装置和第一晶圆吸取装置，所述第一传送装置设于所述第一晶圆吸取装置的两侧，用于对晶圆进行传送，所述第一晶圆吸取装置设有多个第一吸附孔，用于对晶圆进行吸附。

7.根据权利要求6所述的湿法分片装置，其特征在于：所述第二分离装置包括第二传送装置、第二晶圆吸取装置和分离件，所述第二传送装置设于所述第二晶圆吸取装置的两侧，用于对晶圆进行传送；

所述第二晶圆吸取装置设有多个第二吸附孔，对晶圆进行吸附；

所述分离件与所述第二晶圆吸取装置相对设置，所述分离件设于所述第二晶圆吸取装置的一侧，对晶圆进行传送。

8.根据权利要求1-4、6、7任一项所述的湿法分片装置，其特征在于：所述取片机构包括升降装置、旋转装置、移动装置和吸取装置，所述升降装置设于所述移动装置上，所述旋转装置设于所述升降装置上，所述吸取装置与所述旋转装置连接，所述吸取装置在所述升降装置、所述移动装置与所述旋转装置的作用下进行移动、升降和旋转，对晶圆进行吸取、传送。

9.根据权利要求8所述的湿法分片装置，其特征在于：所述吸取装置的数量至少为一个，所述吸取装置为真空吸盘。

10.根据权利要求1所述的湿法分片装置，其特征在于：还包括控制装置，所述控制装置分别与所述晶圆分片分离机构和所述取片机构电连接，控制所述晶圆分片分离机构和所述取片机构动作，对叠在一起的晶圆进行分片、分离和传送。