[实用新型]一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构有效

专利信息
申请号: 202021057522.2 申请日: 2020-06-10
公开(公告)号: CN212702908U 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 马豪军;虞向荣 申请(专利权)人: 无锡晨旸科技股份有限公司
主分类号: B07B1/28 分类号: B07B1/28;B07B1/46;B08B15/02
代理公司: 无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323 代理人: 张迎召
地址: 214000*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 直径 硅片 研磨 材料 传动 机构
【权利要求书】:

1.一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构,包括振动筛A(1)和振动筛B(7),其特征在于,所述振动筛A(1)外侧左端固定安装有控制开关A(2),所述控制开关A(2)外侧底端固定安装有控制开关B(12),所述振动筛A(1)外侧底端固定安装有出料管道A(3),传送槽(9)外侧底端转动连接有传送带(8),且传送槽(9)顶部固定连接有合页(13)一端,所述合页(13)另一端转动连接有有机玻璃盖板(10),所述振动筛A(1)和振动筛B(7)内侧开设有条形槽(14),所述条形槽(14)内固定安装有电机(16),所述电机(16)外侧右端配合连接有螺杆(20),所述螺杆(20)外侧转动套接有丝杆套(17),所述丝杆套(17)外侧固定套接有轴承套(18),所述轴承套(18)外侧固定安装有连杆(19),所述条形槽(14)内侧右端开设有通孔(15),所述连杆(19)贯穿通孔(15)延伸至条形槽(14)外与压板(21)相连接,所述振动筛B(7)外侧底端开设有出料管道B(6),所述传送槽(9)外侧靠近振动筛B(7)一端出口处固定安装有法兰接口(24),所述法兰接口(24)内侧可拆卸连接有塑料袋(23),且塑料袋(23)延伸至振动筛B(7)内。

2.根据权利要求1所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构,其特征在于,所述螺杆(20)外壁固定安装有螺纹,所述丝杆套(17)内壁固定安装有与螺杆(20)外壁螺纹相配合的螺纹,构成转动结构。

3.根据权利要求1所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构,其特征在于,所述振动筛A(1)和振动筛B(7)顶部分别开设有入料口(11)。

4.根据权利要求1所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构,其特征在于,所述传送带(8)外侧底端配合连接有支架A(4)和支架B(5)。

5.根据权利要求1所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构,其特征在于,所述控制开关A(2)电流输出端连接电机(16)电流输入端,所述控制开关B(12)电流输出端连接传送带(8)电流输入端,所述控制开关A(2)和控制开关B(12)电流输入端连接外部电源电流输出端。

6.根据权利要求1所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构,其特征在于,所述有机玻璃盖板(10)表面开设有与出料管道A(3)内壁直径大小相同的圆孔(22),所述出料管道A(3)贯穿圆孔延伸至传送槽(9)内。

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