[实用新型]一种迈克尔逊干涉仪测量装置

权利要求书

1.一种迈克尔逊干涉仪测量装置，其特征在于，包括底座(21)、试验台(1)和数显卡尺(19)，试验台(1)通过支撑柱(23)固定在底座(21)的上表面上，底座(21)的下表面四个顶角处开设有螺纹槽孔，每个螺纹槽孔内均螺纹连接有调平螺钉(22)，试验台(1)的上表面开设有轨道安装槽(8)，轨道安装槽(8)内沿垂直于试验台(1)前侧壁的方向固定两平行轨道(12)，两平行轨道(12)上滑动跨接有滑动块(10)，滑动块(10)上固定有M2平面镜(11)，试验台(1)后部依次设置有分束镜(2)、补偿镜和M1平面镜(7)，M1平面镜(7)与M2平面镜(11)垂直设置，分束镜(2)的后方通过支架设置观察屏(3)，轨道安装槽(8)内在两平行轨道(12)两端连接的侧壁间转动连接有丝杠(9)，且丝杠(9)的一端从轨道安装槽(8)侧壁贯穿，并穿出试验台(1)的前侧壁在端头依次连接有齿轮(17)和调节手轮(16)，在轨道安装槽(8)内的丝杠(9)上套接丝母，丝母的顶部与滑动块(10)底部固定连接，试验台(1)前侧壁上齿轮(17)的下方固定有齿条安装板(13)，齿条安装板(13)上开设有齿条滑槽(14)，齿条滑槽(14)内滑动连接有齿条(15)，齿条(15)与齿轮(17)转至底部的齿牙啮合，试验台(1)前侧壁上固定有测量齿条(15)运动距离的数显卡尺(19)。

2.根据权利要求1所述的迈克尔逊干涉仪测量装置，其特征在于，所述的调平螺钉(22)的底部固定有防滑胶垫。

3.根据权利要求1所述的迈克尔逊干涉仪测量装置，其特征在于，所述的试验台(1)前侧壁上齿条安装板(13)的上方固定有卡尺固定板(20)，卡尺固定板(20)上固定测量头朝下数显卡尺(19)。

4.根据权利要求3所述的迈克尔逊干涉仪测量装置，其特征在于，所述的数显卡尺(19)的可移动测量头(18)与齿条(15)的右端头贴合连接。

5.根据权利要求1所述的迈克尔逊干涉仪测量装置，其特征在于，所述的齿轮(17)的直径大于调节手轮(16)的直径，齿轮(17)的齿距为丝杠(9)的螺距2倍，齿条(15)移动距离为滑动块(10)移动距离的2倍，丝杠(9)为零间隙的2mm导程的高精度滚珠丝杠。

6.根据权利要求1所述的迈克尔逊干涉仪测量装置，其特征在于，所述的分束镜(2)的一个表面镀有半发射金属膜。

7.根据权利要求1所述的迈克尔逊干涉仪测量装置，其特征在于，所述的补偿镜包括补偿镜A(4)和补偿镜B(6)，补偿镜A(4)和补偿镜B(6)通过定位轴(5)固定在试验台(1)上。

8.根据权利要求7所述的迈克尔逊干涉仪测量装置，其特征在于，所述的补偿镜A(4)与补偿镜B(6)之间呈90°角设置，且补偿镜A(4)和补偿镜B(6)均与M2平面镜(11)间呈45°角设置。