[实用新型]硅片收料盒及硅片分档收料装置有效
申请号: | 202021063982.6 | 申请日: | 2020-06-10 |
公开(公告)号: | CN212085034U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 李文;黄莉莉;李昶;李泽通;徐飞 | 申请(专利权)人: | 无锡奥特维科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/673 |
代理公司: | 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 章陆一;孙际德 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 收料盒 分档 装置 | ||
1.一种硅片收料盒,其特征在于,所述硅片收料盒包括料盒底板、第一侧板及料盒调节板;其中:
所述第一侧板垂直固定连接在所述料盒底板上;
所述料盒调节板包括底部调节板与侧边调节板,所述侧边调节板垂直固定连接在所述底部调节板上,所述侧边调节板垂直于所述第一侧板,所述底部调节板上安装有滑动结构,所述滑动结构使所述底部调节板沿着平行于所述第一侧板的方向滑动。
2.根据权利要求1所述的硅片收料盒,其特征在于,所述滑动结构包括至少一个腰型孔及紧固件,所述腰型孔布置在所述料盒底板或者所述底部调节板上,并且沿着所述滑动结构的滑动方向延伸,所述紧固件安装在所述腰型孔中使所述底部调节板相对于所述料盒底板固定。
3.根据权利要求1所述的硅片收料盒,其特征在于,所述侧边调节板及所述第一侧板上安装有垫板,所述底部调节板上安装有料盒上层垫板,和/或所述料盒底板及所述底部调节板上开设有相对应的缺口。
4.根据权利要求1所述的硅片收料盒,其特征在于,所述硅片收料盒上还安装有第二侧板,所述第二侧板与所述第一侧板相邻,并且所述第二侧板垂直于所述第一侧板及所述料盒底板。
5.一种硅片分档收料装置,其特征在于,所述硅片分档收料装置包括硅片输送装置、分档输送装置及收料机构;其中:
所述硅片输送装置用于输送待分档的硅片;
所述分档输送装置至少为一个,安装在所述硅片输送装置的下方,用于将所述硅片输送装置上分档后的硅片输送到所述收料机构;
所述收料机构至少为一个,安装在所述硅片输送装置的一侧,用于收纳对应的分档后的硅片;所述收料机构采用如权利要求1-4中任意一项所述的硅片收料盒。
6.根据权利要求5所述的硅片分档收料装置,其特征在于,所述分档输送装置包括分档升降机构及分档输送线,所述分档输送线至少为平行布置的三条,所述分档输送线的输送方向垂直于所述硅片输送装置的输送方向;所述分档升降机构带动所述分档输送线上升,使所述分档输送线接触所述硅片输送装置上的硅片,并将该硅片输送到所述收料机构。
7.根据权利要求6所述的硅片分档收料装置,其特征在于,所述分档升降机构包括分档升降电机、偏心轮及连杆,所述偏心轮固定连接在所述分档升降电机的转动部件上,所述连杆连接在所述偏心轮的转动端与所述分档输送线的安装座之间。
8.根据权利要求5所述的硅片分档收料装置,其特征在于,所述收料机构还包括料盒升降机构,多个所述硅片收料盒可升降地安装在所述料盒升降机构上。
9.根据权利要求5所述的硅片分档收料装置,其特征在于,所述分档输送装置有若干个,沿着所述硅片输送装置的输送方向间隔布置;所述硅片输送装置的一侧和/或另一侧分别布置有若干个与所述分档输送装置相对应的所述收料机构。
10.根据权利要求9所述的硅片分档收料装置,其特征在于,每个所述分档输送装置上安装有吸附机构,所述吸附机构安装于分档输送线之间,用于吸附所述硅片。
11.根据权利要求5所述的硅片分档收料装置,其特征在于,所述硅片分档收料装置还包括导引输送装置,所述导引输送装置安装在各个所述分档输送装置与所对应的所述收料机构之间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的