[实用新型]一种微电子器件表面干燥处理装置

权利要求书

1.一种微电子器件表面干燥处理装置，包括烘干箱(1)，其特征在于：所述烘干箱(1)的顶部设置有烘干盖(2)，所述烘干箱(1)左右两侧的顶端皆铰接有铰接杆(3)，所述烘干盖(2)底端的左右两侧皆焊接有连接板(4)，且连接板(4)皆插设在烘干箱(1)的内部，所述烘干箱(1)的内部设置有三组烘干架(5)，且烘干架(5)的左右两端皆插设在连接板(4)内部，所述烘干箱(1)的中部安装有发热器(6)，所述发热器(6)的下方设置有电机(7)，且电机(7)的左右两侧皆焊接有第一连接杆(8)，并且第一连接杆(8)皆与烘干箱(1)内壁焊接固定，所述电机(7)的驱动轴焊接有扇叶(9)，所述烘干箱(1)的底部设置有三组过滤布袋(10)，且过滤布袋(10)的外侧皆套设有两组连接环(11)，且连接环(11)的四周皆插设有第二连接杆(12)，所述连接环(11)的四周皆设置有第三连接杆(13)，且第三连接杆(13)靠近烘干箱(1)内壁的一侧皆焊接有第一连接块(14)，所述烘干箱(1)正面的底端开设有三组圆形孔(15)，且圆形孔(15)的外侧皆套设有转动环(16)，所述第二连接杆(12)的前端皆焊接有第二连接块(17)。

2.根据权利要求1所述的一种微电子器件表面干燥处理装置，其特征在于：所述铰接杆(3)顶端的底部皆呈斜面状，所述烘干盖(2)顶端的左右两侧皆呈与铰接杆(3)相卡合的斜面状。

3.根据权利要求1所述的一种微电子器件表面干燥处理装置，其特征在于：所述连接板(4)的内部皆开设有三组滑道，且滑道皆与烘干架(5)相配合。

4.根据权利要求1所述的一种微电子器件表面干燥处理装置，其特征在于：所述圆形孔(15)的外侧皆设置有外螺纹，所述转动环(16)的内壁皆设置有与圆形孔(15)相配合内螺纹，所述圆形孔(15)与转动环(16)皆通过螺纹结构相连接。

5.根据权利要求1所述的一种微电子器件表面干燥处理装置，其特征在于：所述第二连接块(17)的外壁设置有外螺纹，所述转动环(16)的内壁设置有与第二连接块(17)相配合的内螺纹，所述转动环(16)与第二连接块(17)通过螺纹结构相连接。

6.根据权利要求1所述的一种微电子器件表面干燥处理装置，其特征在于：所述烘干架(5)的顶端焊接有凸块，且凸块均匀的排列在烘干架(5)的表面。