[实用新型]一种半导体加工用晶棒切片机

说明书

本实用新型涉及一种半导体加工用晶棒切片机，其包括机架和设置在机架上的夹具，所述机架上设置有防尘罩，所述防尘罩罩设在夹具的外部；所述机架上设置有滑轨，所述滑轨的长度方向垂直于机架的长度方向，所述夹具朝向下方的一侧连接有滑移设置在滑轨上的滑块。本实用新型具有对切割过程中产生的碎屑进行遮挡的效果。

技术领域

本实用新型半导体加工设备的技术领域，尤其是涉及一种半导体加工用晶棒切片机。

背景技术

常见的半导体材料的载体是硅制成的，加工过程首先是将硅生成晶棒，然后再将晶棒通过切片机切割成薄片。

现有授权公告号为CN202685116U的中国专利提供了一种加工晶粒的切片机，包括机架，机架中间设有用于夹住晶棒的夹具，夹具的两侧有两个电机连接的线轮，线轮上设置有切割丝，切割丝穿过夹具中间。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：在切割丝对晶棒切割的过程中，容易产生碎屑，造成碎屑飘散在空气中，影响空气质量，故有待改善。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种半导体加工用晶棒切片机，其具有对切割过程中产生的碎屑进行遮挡的效果。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种半导体加工用晶棒切片机，包括机架和设置在机架上的夹具，所述机架上设置有防尘罩，所述防尘罩罩设在夹具的外部；所述机架上设置有滑轨，所述滑轨的长度方向垂直于机架的长度方向，所述夹具朝向下方的一侧连接有滑移设置在滑轨上的滑块。

通过采用上述技术方案，在切割过程中，通过防尘罩对切割产生的碎屑进行遮挡，起到防止碎屑飞散的作用，起到环保效果。

本实用新型进一步设置为：所述防尘罩长度方向的两端分别开设有进口和出口，所述滑轨长度方向的两端分别从进口和出口伸出到防尘罩的外部；所述进口和出口处分别活动连接有防尘门。

通过采用上述技术方案，在安装晶棒时，打开防尘门，使得夹具经进口移出到防尘罩的外部，安装完成后将夹具推入防尘罩内进行切割，并闭合防尘门；切割完成后，将出口处的防尘门打开，将夹具推出；防尘门的设置方便夹具的进出，便于晶棒的安装。

本实用新型进一步设置为：所述防尘罩上设置有两个分别用于驱动两个防尘门转动的驱动气缸。

通过采用上述技术方案，通过驱动气缸实现防尘门的自动开合，简化工作人员的操作，提高工作效率。

本实用新型进一步设置为：所述滑块上设置有滚轮，所述滚轮滚动连接于滑轨。

通过采用上述技术方案，通过滚轮在滑轨上滚动，带动滑块和夹具沿滑轨的长度方向移动，滚轮的设置有利于夹具的轻松移动，方便工作人员的操作。

本实用新型进一步设置为：所述滑轨上沿其长度方向开设有供滚轮滚动的长槽。

通过采用上述技术方案，滑轨上开设有供滚轮滚动的长槽，通过长槽限制滚轮的滚动方向。

本实用新型进一步设置为：所述长槽的底壁设置有浸油毛毡，所述浸油毛毡上浸润有润滑油并与滚轮相抵。

通过采用上述技术方案，浸油毛毡上浸润有润滑油，滚轮在长槽内滚动时，使得浸油毛毡上的润滑油沾附到滚轮上，便于滚轮的转动，减少滚轮与长槽之间的摩擦。

本实用新型进一步设置为：所述防尘罩朝向上方的一侧开设有观察孔，所述观察孔的内侧壁设置有透明板。

通过采用上述技术方案，透过透明板便于对防尘罩的内部进行观察，减少安全隐患的发生。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：