[实用新型]一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构

说明书

本实用新型实施例公开了一种半挥发性有机物微型释放舱的半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构，用于解决现有的气路连接结构运用带有一定污染物的流量调节装置对气体流量进行调节，从而影响气路中气体洁净度的技术问题。本实用新型实施例包括洁净气源；所述洁净气源连通有供气支路和校准支路；所述校准支路上连接有质量流量计，并且所述校准支路上连接有至少一个校准供气管道，每个所述校准供气管道上设有校准控制开关，每个所述校准供气管道上连接有一个集气管，所述集气管上设置有流量调节阀；所述供气支路上连接有工作供气管道，每个所述工作供气管道上设有工作控制开关，所述工作供气管道与集气管相连通；所述集气管连通有微舱。

技术领域

本实用新型涉及气路调节技术领域，尤其涉及一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构。

背景技术

现有的一般气路连接结构在需要对半挥发性有机物微型释放舱其气路内部的气体进行流量调节时，经常会使用到流量控制装置，由于流量控制装置通常使用非金属橡胶密封或者其制造材料采用非金属，气路中的气体流过流量控制装置时，气体多多少少会被流量控制装置造成一定污染，导致气体的洁净度降低。

因此，为解决上述的技术问题，寻找一种可以在用于多测试舱的半挥发性有机物微型释放舱的工作气路中无需使用流量控制装置便能实现气体流量控制的气路连接结构成为本领域技术人员所研究的重要课题。

实用新型内容

本实用新型实施例公开了一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构，用于解决现有的半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构运用带有一定污染物的流量调节装置对气体流量进行调节，从而影响气路中气体洁净度的技术问题。

本实用新型实施例提供了一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构，包括：

洁净气源；所述洁净气源连通有供气支路和校准支路；

所述校准支路上连接有质量流量计，并且所述校准支路上连接有至少一个校准供气管道，每个所述校准供气管道上设有校准控制开关，每个所述校准供气管道上连接有一个集气管，所述集气管上设置有流量调节阀；

所述供气支路上连接有与所述校准供气管道的数量相匹配的工作供气管道，每个所述工作供气管道上设有工作控制开关，所述工作供气管道与集气管相连通；

所述集气管连通有微舱。

可选地，所述校准支路连接有三个校准供气管道，所述供气支路连接有三个工作供气管道；

三个所述校准供气管道分别为A1校准供气管道、B1校准供气管道和C1校准供气管道；

三个所述工作供气管道分别为A2工作供气管道、B2工作供气管道和C2工作供气管道；

所述微舱的数量为三个，分为A微舱、B微舱和C微舱；

所述集气管的数量为三个，分为A集气管、B集气管和C集气管；

所述A1校准供气管道和所述A2工作供气管道共同连接A集气管，所述A集气管与A微舱连通；所述B1校准供气管道和所述B2工作供气管道共同连接B集气管，所述B集气管与B微舱连通，所述C1校准供气管道和所述C2工作供气管道共同连接C集气管，所述C集气管与C微舱连通。

可选地，所述校准控制开关和所述工作控制开关均为电磁阀。

可选地，所述校准控制开关和所述工作控制开关均为手动阀。

可选地，所述洁净气源为储存于储气罐内的洁净气体。

可选地，所述供气支路、所述校准支路、所述校准供气管道以及所述工作供气管道均为尺寸相同的管道。

从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：