[实用新型]多路气体质量流量控制器用控制模块有效
| 申请号： | 202021070883.0 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN212009347U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 苗丁 | 申请（专利权）人： | 惠州市奥普康真空科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 王华强 |
| 地址： | 516127 广东省惠州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 质量 流量 控制 器用 模块 | ||
【权利要求书】：
1.多路气体质量流量控制器用控制模块，其特征在于：包括电源模块(1)、微处理器模块(2)、数据转换模块(3)、驱动模块(4)和通讯模块(5)，所述微处理器模块(2)与电源模块(1)电连接，所述数据转换模块(3)、驱动模块(4)和通讯模块(5)均与微处理器模块(2)电连接，所述数据转换模块(3)用于与多路气体质量流量控制器(6)电连接，所述驱动模块(4)用于与多路电动截止阀(7)电连接，所述电动截止阀(7)的数量与气体质量流量控制器(6)的数量相同，各个气体质量流量控制器(6)均与电源模块(1)电连接，所述通讯模块(5)用于与上位机(8)通讯连接。
2.根据权利要求1所述的多路气体质量流量控制器用控制模块，其特征在于，所述数据转换模块(3)包括模数转换模块(31)和数模转换模块(32)，所述模数转换模块(31)和数模转换模块(32)均与微处理器模块(2)电连接，各个气体质量流量控制器(6)均与模数转换模块(31)和数模转换模块(32)电连接。
3.根据权利要求1所述的多路气体质量流量控制器用控制模块，其特征在于，所述通讯模块(5)为RS485通讯模块。
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