[实用新型]一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟有效
申请号: | 202021077833.5 | 申请日: | 2020-06-11 |
公开(公告)号: | CN212182288U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣新能源材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C23C16/458 |
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地址: | 201708 上海市青浦区华*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 陶瓷 替换 增加 产量 石墨 | ||
本实用新型公开了一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,包括石墨舟片,所述石墨舟片设有多片,所述石墨舟片包括石墨舟片体和两端的凸耳,所述石墨舟片体上设有硅片位,所述硅片位设有多个,所述相邻的硅片位之间上端设有陶瓷梳卡槽,下端开有陶瓷杆穿插孔,所述陶瓷梳卡槽卡接陶瓷梳,所述陶瓷梳卡槽和陶瓷杆穿插孔之间分布有卡点孔,内部固定有卡点,所述凸耳上设有穿孔,所述穿孔用于安装陶瓷杆Ⅰ,所述多片石墨舟片中部通过陶瓷梳和陶瓷杆连接,两端凸耳通过陶瓷杆Ⅰ进行连接,并通过锁紧螺母锁紧陶瓷杆和陶瓷杆Ⅰ两端。本装置使用陶瓷梳代替石墨舟片上部的陶瓷杆,可以在石墨舟片总长度不变的情况下,增加硅片位的数量,提高产量。
技术领域
本实用新型涉及石墨舟技术领域,具体涉及一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟。
背景技术
石墨舟是用来生产太阳能电池片进行PECVD镀膜时的载体,目前在用的石墨舟产量是根据镀膜设备来定制的,如果需要提高产量,只能通过设备的增加来实现。但增加设备又会增加机器成本和相应的人工成本,同时也会占用额外的生产场地。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,以解决上述背景技术中提出的问题。为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,包括石墨舟片,所述石墨舟片设有多片,并且平行放置固定,所述石墨舟片包括石墨舟片体和两端的凸耳,所述石墨舟片体上设有硅片位,所述硅片位设有多个,并沿石墨舟片体等距分布,所述相邻的硅片位之间上端设有陶瓷梳卡槽,下端开有陶瓷杆穿插孔,所述陶瓷杆穿插孔用于安装陶瓷杆,所述陶瓷梳卡槽卡接陶瓷梳,所述陶瓷梳卡槽和陶瓷杆穿插孔之间分布有卡点孔,所述卡点孔位于硅片位两侧,内部固定有卡点,所述卡点为任意形状的凸起结构,所述凸耳上设有穿孔,所述穿孔用于安装陶瓷杆Ⅰ,所述多片石墨舟片中部通过陶瓷梳和陶瓷杆连接,两端凸耳通过陶瓷杆Ⅰ进行连接,并通过锁紧螺母锁紧陶瓷杆和陶瓷杆Ⅰ两端。
优选地,所述陶瓷梳为长条状扁平结构,所述陶瓷梳的一边开有梳齿,所述相邻梳齿的齿槽与陶瓷梳卡槽长度和结构对应,所述陶瓷梳厚度为陶瓷杆、陶瓷杆Ⅰ外径的三分之一。
优选地,所述卡点可以为圆柱形凸起结构,所述卡点的长度方向与石墨舟片体表面相垂直。
优选地,每个凸耳上设有两个并列的穿孔。
优选地,所述石墨舟片体两端设有陶瓷杆穿插孔Ⅰ,所述陶瓷杆穿插孔Ⅰ设有两个,位于石墨舟片体上下两侧,所述陶瓷杆穿插孔Ⅰ内部安装有陶瓷杆Ⅱ,所述陶瓷杆Ⅱ连接多个石墨舟片体,并通过锁紧螺母锁紧。
本实用新型的技术效果和优点:本装置使用陶瓷梳代替石墨舟片上部的陶瓷杆,陶瓷梳的厚度小于陶瓷杆的外径,通过使用陶瓷梳,可以减小每个石墨舟片上硅片位的间距,同时缩短石墨舟片两端的凸耳,可以在石墨舟片总长度不变的情况下,增加硅片位的数量,从而提高产量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图俯视图;
图2为本实用新型的结构示意图主视图;
图3为图1中A处的发大图;
图4为本实用新型的陶瓷梳结构示意图。
图中:1-石墨舟片,2-石墨舟片体,3-凸耳,4-硅片位,5-陶瓷梳卡槽,6-陶瓷杆穿插孔,7-陶瓷杆,8-陶瓷梳, 10-卡点,11-穿孔,12-陶瓷杆Ⅰ,13-锁紧螺母,14-梳齿,15-陶瓷杆穿插孔Ⅰ,16-陶瓷杆Ⅱ。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造