[实用新型]一种反应炉腔内载片结构

权利要求书

1.一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，包括舟托、舟；所述舟托上设置有至少一个舟，舟的长度方向与舟托的长度方向垂直或近似垂直；当硅片设置于舟时，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直。

2.根据权利要求1所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述舟托包括支撑杆以及连接座，支撑杆的两端设置有连接座；支撑杆设置于连接座的两条侧边缘上。

3.根据权利要求2所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述支撑杆上设置有隔板，隔板位于相邻的舟之间。

4.一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，包括桨、舟；所述桨上设置有至少一个舟；舟的长度方向与桨的长度方向垂直或近似垂直；当硅片设置于舟时，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直。

5.根据权利要求4所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述桨设置于舟的侧面和/或设置于舟的底部。

6.根据权利要求1或4所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述舟包括挡板、支撑柱以及挂件；所述挡板设置于支撑柱的两端；所述挂件设置于挡板。

7.根据权利要求6所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述支撑柱分为两组，两组支撑柱分别设置于挡板的上边缘以及挡板的下边缘，每组至少包括一根支撑柱。

8.根据权利要求6所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述挂件分别设置于两块挡板上，挂件与支撑柱分别位于挡板的两侧。

9.根据权利要求6所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述支撑柱上设置有舟齿。

10.根据权利要求6所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述支撑柱设置于挡板的两条侧边缘以及下边缘上。