[实用新型]基板支架及包括该支架的基板支撑装置

权利要求书

1.一种基板支架，包括：

旋转部，其以旋转轴为中心旋转；

支撑部，其以包裹在所述旋转部的圆周方向上的外面的形式连接于所述旋转部，通过外面支撑基板的边缘；

第一紧固连接部，其形成于所述旋转部的外面；第二紧固连接部，其形成于与所述旋转部接触的所述支撑部的接触面，与所述第一紧固连接部紧固连接。

2.根据权利要求1所述的基板支架，

所述旋转部包括外面互相段差的下部部分和上部部分，所述下部部分及上部部分之间形成有段差面。

3.根据权利要求2所述的基板支架，

以与所述旋转轴平行的截面为基准，

所述下部部分及上部部分的外面与所述旋转轴平行，

所述段差面可与所述旋转轴垂直。

4.根据权利要求2所述的基板支架，

所述第一紧固连接部形成于所述段差面，所述第二紧固连接部形成于对于所述段差面的所述支撑部的接触部位。

5.根据权利要求2所述的基板支架，

所述第一紧固连接部形成于所述下部部分或上部部分的外面，在对于形成有所述第一紧固连接部的所述旋转部的所述支撑部的接触部位形成。

6.根据权利要求2所述的基板支架，

所述第一紧固连接部及第二紧固连接部中一个包括在所述旋转部及支撑部的接触部位凸出形成的凸出部件，

另一个包括在所述接触部位凹陷形成的收容槽，以便收容所述凸出部件。

7.根据权利要求6所述的基板支架，

所述凸出部件分别形成于所述下部部分或上部部分的外侧面和所述段差面，

所述收容槽分别形成于与所述各个凸出部件所形成的所述旋转部的外面接触的所述支撑部的接触部位。

8.根据权利要求6所述的基板支架，

在所述旋转部及支撑部的接触部位涂布粘合剂，在所述收容槽收容所述粘合剂。

9.根据权利要求6所述的基板支架，

以从上部观看的状态为基准，所述凸出部件及收容槽为环形。

10.根据权利要求1所述的基板支架，

在所述支撑部的外面形成有供所述基板的边缘安装的安装槽。

11.根据权利要求1所述的基板支架，

所述旋转部包括第一材料，所述支撑部包括比第一材料硬度低的第二材料。

12.一种基板支撑装置，

包括权利要求1至11中任意一项所述的多个基板支架，

所述多个基板支架分别支撑基板边缘的多个部位，通过以相同的速度旋转而使所述基板旋转。