[实用新型]一种用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置有效
| 申请号： | 202021085352.9 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN211360655U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;魏铁峰;岳万祥;张欠男 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/15 | 分类号： | B22F3/15;B22F3/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;李璐 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 静压 cr 基靶材锭坯 装置 | ||
1.一种用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述装粉装置包括：包套主体、包套上盖和包套下盖；
所述包套上盖盖设在所述包套主体上端，所述包套下盖设置在所述包套主体底端，所述包套主体、所述包套上盖和所述包套下盖合围成一个腔体，所述包套主体的内侧面、所述包套上盖的底部端面和所述包套下盖的上表面上均设置有耐高温涂层。
2.如权利要求1所述的用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述耐高温涂层材料为Al2O3、TiO2或ZrO2。
3.如权利要求1或2所述的用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述耐高温涂层的厚度为0.1～0.5mm。
4.如权利要求1所述的用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述包套主体的内侧面、所述包套上盖的底部端面和所述包套下盖的上表面还设有经过喷砂处理的粗糙表面喷砂层，所述喷砂层的外侧面与所述耐高温涂层的内侧面贴合粘结。
5.如权利要求1所述的用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述包套主体的横截面为方形或者圆形，所述包套上盖和所述包套下盖与所述包套主体配合，对应设置为方形或者圆形。
6.如权利要求1或5所述的用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述包套上盖上设置有脱气孔，所述脱气孔与脱气装置连接，用于对所述装粉装置的内部腔体进行脱气。
7.如权利要求1所述的用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述包套上盖、所述包套下盖分别焊接在所述包套主体的上端部和下端部。
8.如权利要求1所述的用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述包套主体材质为冷/热拔低碳钢或冷/热拔不锈钢。
9.如权利要求1所述的用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述包套上盖和所述包套下盖材质为旋压低碳钢或旋压不锈钢。
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