[实用新型]一种硅片烘干炉的硅片传送装置有效

专利信息
申请号: 202021087276.5 申请日: 2020-06-13
公开(公告)号: CN212512328U 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 江水德 申请(专利权)人: 衢州三盛电子有限公司
主分类号: F26B15/08 分类号: F26B15/08;F26B25/00
代理公司: 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 代理人: 张铁兰
地址: 324000 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 烘干 传送 装置
【说明书】:

实用新型涉及硅片技术领域,且公开了一种硅片烘干炉的硅片传送装置,包括箱体,所述箱体的内部固定连接有支柱,所述支柱的内部固定连接有转轴,所述转轴的外壁固定连接有转盘,所述转盘的外壁活动连接有第一传送带,所述第一传送带的外壁固定连接有固定块,所述固定块的内部开设有固定槽,所述电动推杆的右侧固定连接有固定杆,所述固定杆的右侧固定连接有支架,所述支架的内部固定连接有进料管,所述进料管的左侧活动连接有活动管,所述箱体的内部固定连接有支撑柱,所述支撑柱的外壁活动连接有第二传送带。该硅片烘干炉的硅片传送装置,具备硅片烘干单次上料完成所有面的烘干,方便上料,方便传送,方便下料等优点。

技术领域

本实用新型涉及硅片技术领域,具体为一种硅片烘干炉的硅片传送装置。

背景技术

硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力,无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题,也无论计算的工作量有多大,工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它,并下达解题的思路和指令,计算机就能在极短的时间内把答案告诉你,这样,那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题,计算机可能只需要几分钟就可以解决。

目前硅片需求量增加,然而硅片烘干炉的硅片传送装置还存在一些不足,硅片烘干无法单次完成所有面的烘干,不方便上料,不方便传送,不方便下料,故而提出了一种硅片烘干炉的硅片传送装置来解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅片烘干炉的硅片传送装置,具备硅片烘干单次上料完成所有面的烘干,方便上料,方便传送,方便下料等优点,解决了硅片烘干无法单次完成所有面的烘干,不方便上料,不方便传送,不方便下料的问题。

(二)技术方案

为实现上述硅片烘干单次上料完成所有面的烘干,方便上料,方便传送,方便下料的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片烘干炉的硅片传送装置,包括箱体,所述箱体的内部固定连接有支柱,所述支柱的内部固定连接有转轴,所述转轴的外壁固定连接有转盘,所述转盘的外壁活动连接有第一传送带,所述第一传送带的外壁固定连接有固定块,所述固定块的内部开设有固定槽,所述固定槽的内部活动连接有硅片,所述固定槽的外壁固定连接有挡块,所述箱体的内部固定连接有电动推杆,所述箱体的左侧活动连接有箱门,所述电动推杆的右侧固定连接有固定杆,所述固定杆的右侧固定连接有支架,所述支架的内部固定连接有进料管,所述进料管的左侧活动连接有活动管,所述箱体的内部固定连接有支撑柱,所述支撑柱的外壁活动连接有第二传送带。

优选的,所述支柱的背面固定连接有电动机,所述电动机穿过支柱的内部延伸至转轴的内部,所述箱体的底部固定连接有基柱,所述基柱的数量为四个。

优选的,所述转轴和转盘的数量均为两个,所述固定块的内部开设有四个固定槽,所述固定槽的外壁有四个挡块,所述箱体的内部活动连接有收集箱。

优选的,所述进料管和活动管的数量为两个,所述箱门的正面固定连接有密封圈,所述密封圈为橡胶密封圈,所述箱门的背活动连接有把手。

优选的,所述支撑柱的数量为四个,所述支撑柱的内部活动连接有转杆,所述转杆的数量为两个,所述转杆的外壁活动连接有第二传送带。

优选的,所述支撑柱的背面固定连接有电机,所述电机穿过支撑柱的内部延伸至转杆的外壁,所述箱体的背面固定连接有电源,所述电源电连接有电动机、电机和电动推杆。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种硅片烘干炉的硅片传送装置,具备以下有益效果:

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