[实用新型]一种硅片多晶硅太阳能硅片喷淋装置有效
申请号: | 202021087277.X | 申请日: | 2020-06-13 |
公开(公告)号: | CN212494216U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 江水德 | 申请(专利权)人: | 衢州三盛电子有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 张铁兰 |
地址: | 324000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 多晶 太阳能 喷淋 装置 | ||
本实用新型涉及喷淋装置技术领域,且公开了一种硅片多晶硅太阳能硅片喷淋装置,包括喷淋箱体,所述喷淋箱体底部的四角均固定连接有箱体脚,所述喷淋箱体的底部固定连接有电机箱,所述电机箱的内底壁固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出轴固定连接有驱动轴。该硅片多晶硅太阳能硅片喷淋装置,通过开启箱体门,将需要喷淋的硅片本体放置在固定夹块内侧开设的固定槽内,对硅片本体进行初步的限位,通过转动手动转柄,可以依次带动螺纹杆和滚动块转动,通过设置滚动块,可以限制活动夹块进行圆周转动,所以螺纹杆转动的过程中,可以带动活动夹块向左移动,活动夹块向左移动的过程中,配合固定夹块可以对硅片本体进行夹持固定。
技术领域
本实用新型涉及喷淋装置技术领域,具体为一种硅片多晶硅太阳能硅片喷淋装置。
背景技术
太阳能硅片是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻和离子注入等手段,可以制成各种半导体器件,用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,科学技术的发展不断推动着半导体的发展,自动化和计算机等技术发展,使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。
太阳能硅片在生产加工的过程中,往往需要用到喷淋装置对太阳能硅片进行清洗,以提高太阳能硅片的光洁度,但是现有的硅片多晶硅太阳能硅片喷淋装置存在着喷淋效果较差的缺点,无法对硅片进行全方位的喷淋,导致需要工作人员频繁的调整硅片的方向,来达到硅片多方位喷淋的效果,提高了工作人员的劳动强度,不方便使用,降低了喷淋装置的使用效率和使用效果,故而提出一种硅片多晶硅太阳能硅片喷淋装置来解决上述所提出的问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅片多晶硅太阳能硅片喷淋装置,具备喷淋效果较好等优点,解决了现有的硅片多晶硅太阳能硅片喷淋装置存在着喷淋效果较差的缺点,无法对硅片进行全方位的喷淋,导致需要工作人员频繁的调整硅片的方向,来达到硅片多方位喷淋的效果,提高了工作人员的劳动强度,不方便使用,降低了喷淋装置的使用效率和使用效果的问题。
(二)技术方案
为实现上述喷淋效果较好目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片多晶硅太阳能硅片喷淋装置,包括喷淋箱体,所述喷淋箱体底部的四角均固定连接有箱体脚,所述喷淋箱体的底部固定连接有电机箱,所述电机箱的内底壁固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出轴固定连接有驱动轴,所述驱动轴的顶端固定连接有固定夹块,所述固定夹块顶部的右侧固定连接有螺纹块,所述螺纹块的内侧螺纹连接有螺纹杆,所述螺纹杆的右端固定连接有手动转柄,所述螺纹杆的左端固定连接有滚动块,所述滚动块的外侧转动连接有活动夹块,所述喷淋箱体的左侧固定连接有储液箱,所述喷淋箱体的左侧固定连接有抽液泵,所述抽液泵的进口处固定连接有固定管,所述抽液泵的出口处固定连接有连接管,所述连接管的外侧固定连接有喷淋管,所述喷淋管的外侧固定连接有固定喷头,所述固定夹块的顶部活动连接有硅片本体,所述喷淋箱体的左侧固定连接有出液管,所述固定夹块的底部固定连接有滑动块,所述喷淋箱体的正面活动连接有箱体门。
优选的,所述螺纹块的内侧开设有与螺纹杆外侧螺纹相适配的螺纹孔,所述活动夹块与固定夹块滑动连接,所述固定管的外侧固定安装有控制阀。
优选的,所述活动夹块和固定夹块相对的一侧均开设有固定槽,且固定槽的宽度与硅片本体的宽度相等,所述硅片本体的数量为四个,固定槽的数量为八个。
优选的,所述喷淋箱体的内底壁开设有环形槽,所述滑动块的数量为两个,两个所述滑动块均与环形槽滑动连接。
优选的,所述喷淋管的数量为两个,所述固定喷头的数量为六个,所述出液管的左端依次贯穿喷淋箱体和储液箱并延伸至储液箱的内顶壁。
优选的,所述储液箱的顶部固定连接有进水漏斗,所述固定管的底端贯穿储液箱并延伸至储液箱的内侧,所述连接管的右端贯穿喷淋箱体并延伸至喷淋箱体的内侧。
(三)有益效果
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于衢州三盛电子有限公司,未经衢州三盛电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021087277.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种硅片烘干炉的硅片传送装置
- 下一篇:一种机床自动化控制装置