[实用新型]一种真空镀膜用防护支架

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜用防护支架，包括桶体，桶体下端设置有支架，桶体上端设置有桶盖，桶盖右端设置有铰链，桶体前侧设置有桶门，桶体内壁上端设置有上卡板，桶体内壁下端设置有下卡板，上卡板内部设置有卡槽，卡槽内部设置有防护板，防护板内部设置有基板，基板内侧设置有内层，内层远离基板的一侧设置有过渡层，过渡层内侧设置有防护层。本实用新型的一种真空镀膜用防护支架，通过桶体内部上卡板与下卡板固定防护板式防护板安装与拆卸更便捷，且防护板内层、过渡层与防护层粗糙度逐层递增使防护板对溅射物质吸附能力更强，利于收集，避免对真空室造成污染。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，特别涉及一种真空镀膜用防护支架。

背景技术

在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。在磁控溅射镀膜过程中，溅射靶的物质会沉积到基片材料上，但也有一部分物质会沉积到真空腔室内壁，为了防止物质沉积到腔室内壁，通常在真空腔室内安装防护设备，防止造成室内污染难以清理。

目前的真空镀膜用防护设备，通常在真空腔室内壁安装防护板，但是在真空内壁安装防护板操作麻烦，且不方便拆卸清洗；另外防护板通过在基板上设置两个涂层形成，不能承载较多的溅射物质，导致溅射到防护板上物质容易脱落，对真空腔室造成污染；因此，探索出一种安装方便，能有效防护溅射物质的真空镀膜用防护支架就显得尤为重要。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种真空镀膜用防护支架，可以有效改善背景技术中阐述的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种真空镀膜用防护支架，包括桶体，所述桶体下端设置有支架，所述桶体上端设置有桶盖，所述桶盖右端设置有铰链，所述桶体前侧设置有桶门，所述桶体内壁上端设置有上卡板，所述桶体内壁下端设置有下卡板，所述上卡板内部设置有卡槽，所述卡槽内部设置有防护板，所述防护板内部设置有基板，所述基板内侧设置有内层，所述内层远离基板的一侧设置有过渡层，所述过渡层内侧设置有防护层。

优选的，所述支架宽度尺寸与桶体外径尺寸相匹配，所述桶体下端与支架固定连接，所述支架数量为三组，呈圆周等距排布。

优选的，所述桶盖外径尺寸与桶体内径尺寸相同，所述桶盖与铰链固定连接，所述桶体与铰链固定连接，所述桶盖通过铰链与桶体转动连接。

优选的，所述上卡板外径尺寸与桶体内径尺寸相同，所述下卡板外径尺寸与桶体内径尺寸相同，所述上卡板与下卡板均形状为圆柱体，所述上卡板与下卡板均与桶体固定连接。

优选的，所述上卡板与下卡板内部均设有卡槽，所述卡槽宽度尺寸与防护板宽度尺寸相匹配，所述防护板通过卡槽与上卡板滑动连接，所述防护板通过卡槽与下卡板滑动连接，所述防护板可拆卸地安装在桶体的内壁。

优选的，所述防护板为圆弧形，所述防护板数量为若干组，呈圆周衔接排布，所述防护板通过衔接在桶体内部形成防护壁。

优选的，所述基板安装与靠近筒体的一侧，所述防护层安装于桶体内腔一侧，所述基板依次叠层设置在防护板上的内层、过渡层和防护层，所述内层、过渡层和防护层的表面粗糙度依次增大。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该真空镀膜用防护支架，通过在桶体内部设置上卡板与下卡板，当安装防护板时，只需从桶门处将防护板从卡槽内划入，使防护板上下两端处于卡槽内，依次排列即可，当防护板内壁由于溅射物过多时同理取下清洗即可，这样使防护板安装清洗方便，实用性更大；另外在基板上依次叠层设置内层、过渡层和防护层，并且粗糙度逐渐增大，通过过渡层可以对内层与防护层之间粗糙度的变化起到过渡作用，使得溅射到防护层上的溅射物质不容易脱落，从而，防护板能收集更多的溅射物质，避免真空腔室被溅射物质污染。