[实用新型]一种多级真空泵

权利要求书

1.一种多级真空泵，其特征在于：包括泵体，所述泵体一侧设置有驱动电机，所述驱动电机一端设置有驱动轴，所述驱动轴上固定设置有多个偏心轮，所述偏心轮上固定设置有连杆，所述连杆顶端部固定设置有膜片；所述泵体一侧面固定设置有第一顶盖，所述泵体其他侧面固定设置有第二顶盖及第三顶盖，所述连杆分别匹配第一顶盖、第二顶盖及第三顶盖设置，所述第一顶盖内设置有第一真空腔体，所述第二顶盖内设置有第二真空腔体，所述第三顶盖内设置有第三真空腔体；

所述第一真空腔体上端部设置有第一进气盖及第一出气盖，所述第二真空腔体上端部设置有第二进气盖及第二出气盖，所述第三真空腔体上端部设置有第三进气盖及第三出气盖，所述第一进气盖一端连接有进气管，所述第二进气盖通过管道与第一出气盖连通设置，所述第三进气盖通过管道与第二出气盖连通设置，所述第三出气盖一端连接有出气管。

2.根据权利要求1所述的一种多级真空泵，其特征在于：所述第一进气盖、第二进气盖及第三进气盖分别设置有进气孔，所述第一出气盖、第二出气盖及第三出气盖分别设置有出气孔，所述第一进气盖的进气孔通过管道与进气管连通设置，所述第三出气盖的出气孔通过管道与出气管连通设置。

3.根据权利要求1或2所述的一种多级真空泵，其特征在于：所述泵体一侧面固定设置的第一顶盖数量为两个，所述泵体一侧面固定设置的两第一进气盖通过管道相互连接，两第一出气盖通过管道相互连接，所述进气管与其中一第一进气盖连接，所述第二进气盖通过管道与其中一第一出气盖连通设置。

4.根据权利要求1或2所述的一种多级真空泵，其特征在于：所述第一真空腔体、第二真空腔体及第三真空腔体下端部分别向内凹设有弧面部，所述第一进气盖、第二进气盖、第三进气盖、第一出气盖、第二出气盖、第三出气盖分别与弧面部连通设置。

5.根据权利要求1或2所述的一种多级真空泵，其特征在于：所述第一真空腔体、第二真空腔体及第三真空腔体上端部分别开设有导气孔，所述第一真空腔体、第二真空腔体及第三真空腔体上端部分别于导气孔周侧开设有导气槽，所述第一进气盖、第二进气盖、第三进气盖、第一出气盖、第二出气盖、第三出气盖分别固定在导气槽上方，所述第一出气、第二出气盖、第三出气盖与导气槽之间卡持设置有挡气片，所述挡气片贴合设置在导气孔周缘设置。

6.根据权利要求1或2所述的一种多级真空泵，其特征在于：所述连杆顶端部开设有卡槽，所述膜片中部卡设有穿孔，所述卡槽内卡持有减震盘，所述减震盘一侧设置有卡柱，所述卡柱穿过穿孔固定在卡槽内。

7.根据权利要求6所述的一种多级真空泵，其特征在于：所述膜片与连杆之间设置有支撑盘。

8.根据权利要求7所述的一种多级真空泵，其特征在于：所述支撑盘与连杆之间还设置有垫片。

9.根据权利要求1或2所述的一种多级真空泵，其特征在于：所述第二出气盖一端通过管道连接有气镇阀，所述气镇阀上设置有调节帽。

10.根据权利要求1或2所述的一种多级真空泵，其特征在于：所述泵体外侧部设置有壳体，所述泵体一侧设置有电源箱体。