[实用新型]一种坩埚及保温层的清洁处理装置

说明书

本实用新型提供了一种坩埚及保温层的清洁处理装置，所述装置包括：工作台；弯曲定型杆，所述弯曲定型杆的一端固定在所述工作台上，所述弯曲定型杆包括第一弯曲定型杆、第二弯曲定型杆和第三弯曲定型杆；吸尘圆筒，所述吸尘圆筒转动安装于第一弯曲定型杆上，所述吸尘圆筒的内径与坩埚的外径匹配；第一刀片，所述第一刀片转动安装于第二弯曲定型杆上；第二刀片，所述第二刀片转动安装于第三弯曲定型杆上。通过设置吸尘圆筒、第一刀片和第二刀片，可以实现坩埚、上保温层和下保温层的清洁处理，提高了清洁效率和清洁效果，且有效避免了人工处理对坩埚及保温层造成的损坏的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种坩埚及保温层的清洁处理装置，属于清理装置的技术领域。

背景技术

PVT法生长碳化硅晶体是在密闭的坩埚中进行，坩埚外包裹有保温层，保温层包括位于所述坩埚上方的上保温层、位于所述坩埚下方的下保温层和位于所述坩埚侧壁外的外保温层。保温层通常采用石墨毡、石墨纸等耐高温且的碳材料制备。在长晶过程中，坩埚高温易造成下保温层的侵蚀和凹陷，杂质随原料气氛扩散沉积到的上保温层孔洞上，造成上保温层孔洞的污染，坩埚外壁也会累积很多灰尘。在长晶完成后，需要对坩埚及保温层上灰尘和杂质进行清理。通常对外保温层的清理采用普通的毛刷处理。

现有技术中只涉及到对坩埚的清洁处理装置，对上保温层和下保温层的清洁主要采用人工处理，但人工处理存在处理不干净的问题，清理坩埚及保温层的使用工具繁多及费时费力。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种坩埚及保温层的清洁处理装置，通过设置吸尘圆筒、第一刀片和第二刀片，用于对坩埚外壁、下保温层和上保温层孔洞进行处理，提高了清洁效率，且清洁效果好。

本申请采用的技术方案如下：

本申请提供了一种坩埚及保温层的清洁处理装置，所述装置包括：

工作台，所述工作台用于放置待处理的坩埚和/或保温层，所述保温层包括上保温层和下保温层；

弯曲定型杆，所述弯曲定型杆的一端固定在所述工作台上，所述弯曲定型杆包括第一弯曲定型杆、第二弯曲定型杆和第三弯曲定型杆；

吸尘圆筒，所述吸尘圆筒转动安装于第一弯曲定型杆上，所述吸尘圆筒的内径与坩埚的外径匹配；

第一刀片，所述第一刀片转动安装于第二弯曲定型杆上，当所述第一刀片的刀刃与工作台表面平行时，所述第一刀片能够对下保温层进行处理；

第二刀片，所述第二刀片转动安装于第三弯曲定型杆上，当所述第二刀片的刀刃与工作台表面垂直时，所述第二刀片能够对上保温层孔洞进行处理。

优选地，所述吸尘圆筒内壁设置有毛刷，所述吸尘圆筒与吸尘箱连接。

优选地，所述第一刀片为圆形刀片，所述圆形刀片的底部边缘设置有刀刃。

优选地，所述圆形刀片的底部中间粘贴有砂纸。

优选地，所述第二刀片为矩形刀片，所述矩形刀片的一侧或两侧设置有刀刃，所述矩形刀片的宽度不大于上保温层上孔洞的直径。

优选地，所述第一刀片和第二刀片的材质均为不锈钢。

优选地，所述弯曲定型杆包括支撑短杆和金属定型软管，所述支撑短杆的一端固定在工作台上，另一端与金属定型软管连接。

优选地，所述第一弯曲定型杆与吸尘圆筒连接处管路包括内层管路和外层管路，所述吸尘圆筒的吸尘管路设置在外层管路上。

优选地，所述第一弯曲定型杆内安装有第一微型电机，所述吸尘圆筒通过转动轴与所述第一微型电机连接；和/或

所述第二弯曲定型杆内安装有第二微型电机，所述第一刀片通过转动轴与所述第二微型电机连接；和/或