[实用新型]一种气体置换及压力调节系统有效
申请号: | 202021092670.8 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN212480824U | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 刘欢;刘忠宝;张涛;王磊;张卓磊 | 申请(专利权)人: | 北京泊菲莱科技有限公司 |
主分类号: | F17C5/06 | 分类号: | F17C5/06;F17C7/00;F17C13/00;F17C13/02;F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李红霖 |
地址: | 100039 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 置换 压力 调节 系统 | ||
1.一种气体置换及压力调节系统,其特征在于,包括气源(1)和四通(10),气源(1)出气端和四通(10)的第一端口连接,四通(10)的第三端口连接有真空泵(6),四通(10)的第四端口连接有若干个反应器(8);
气源(1)和四通(10)的第一端口之间设置有第一电磁阀(2),四通(10)的第三端口和真空泵(6)之间设置有第二电磁阀(3)。
2.根据权利要求1所述的一种气体置换及压力调节系统,其特征在于,气源(1)和第一电磁阀(2)之间设置有调节阀(4)。
3.根据权利要求1所述的一种气体置换及压力调节系统,其特征在于,四通(10)的第二端口连接至泄压阀(5)。
4.根据权利要求1所述的一种气体置换及压力调节系统,其特征在于,每一个反应器(8)的进气端设置有一个第三电磁阀(7),所有的第三电磁阀(7)和四通(10)的第四端口连接。
5.根据权利要求1所述的一种气体置换及压力调节系统,其特征在于,每一个反应器(8)连接有一个传感器(9)。
6.根据权利要求5所述的一种气体置换及压力调节系统,其特征在于,传感器(9)连接至控制系统。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京泊菲莱科技有限公司,未经北京泊菲莱科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021092670.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体封装结构
- 下一篇:一种加装红外反射棱镜的高炉红外热像仪