[实用新型]用于激光冲击的光斑整形装置

权利要求书

1.用于激光冲击的光斑整形装置，其特征在于：在入光口(1)与出光口(8)之间依次设有用于光斑整形的微透镜阵列系统(2)、用于调节光斑大小的整形元件(4)、准直镜(5)和聚焦镜(6)，微透镜阵列系统(2)置于电动滑台一(3)上，可移动，所述整形元件(4)包含依次等距平行错列布置的扩束镜一(13)、扩束镜二(11)及扩束镜三(9)，置于电动滑台二(10)上，可移动。

2.根据权利要求1所述的用于激光冲击的光斑整形装置，其特征在于：所述微透镜阵列系统(2)包括在入光孔(21)与出光孔(24)之间设置的微透镜阵列(22)与焦平面(23)。

3.根据权利要求2所述的用于激光冲击的光斑整形装置，其特征在于：所述微透镜阵列(22)是由孔径为微米级至百微米级的微透镜排列组合而成。

4.根据权利要求3所述的用于激光冲击的光斑整形装置，其特征在于：所述微透镜阵列(22)的微透镜是532nm和1064nm的透射率在99.5％以上的镜片。

5.根据权利要求2所述的用于激光冲击的光斑整形装置，其特征在于：所述微透镜阵列(22)为方形微透镜阵列，将激光束由圆光斑转化为方光斑。

6.根据权利要求1所述的用于激光冲击的光斑整形装置，其特征在于：所述扩束镜一(13)、扩束镜二(11)与扩束镜三(9)固定在底板(12)上，底板(12)置于电动滑台二(10)，且扩束镜一(13)位于扩束镜二(11)的左侧，扩束镜三(9)位于扩束镜二(11)的右侧；所述扩束镜一(13)与扩束镜二(11)的中心线距离为85mm，扩束镜三(9)与扩束镜二(11)的中心线距离为85mm；所述扩束镜一(13)与扩束镜二(11)的斜边距离为120mm，扩束镜三(9)与扩束镜二(11)的斜边距离为120mm；所述聚焦镜(6)置于电动滑台三(7)上，可移动。